北京二維輪廓度測量儀供應(yīng)商海普超精CLY-200B應(yīng)用領(lǐng)域
二維輪廓度測量儀是光學(xué)元器件檢測*的設(shè)備。
適合全線光學(xué)元器件的測量(包括陡峭、平坦或小矢高等光學(xué)元器件)。
可測量光學(xué)元件的輪廓度與光學(xué)方程的誤差。可逆推光學(xué)方程,對未知表面具有逆推系數(shù)的分析能力。
北京二維輪廓度測量儀供應(yīng)商海普超精CLY-200B使用環(huán)境要求
設(shè)備使用溫度:20±2℃。一天內(nèi)溫度梯度小于3℃。
濕度:<65%。
空氣壓力:≥0.6MPa。
空氣過濾精度:0.01um。除油、除水。
空氣流量: ≥0.1m³/min。
海普超精CLY-200B技術(shù)參數(shù)
調(diào)整臺
平移臺直徑200mm
平移臺行程100mm
Y軸(滑動立柱)
行程360mm
運(yùn)動直線度5µm
X軸(滑動橫梁)
行程200mm
直線度2µm/200mm
氣浮測頭(測量臂長55mm)
測量精度1µm
測量矢高(zui大)10mm