二維輪廓度測(cè)量?jī)x制造商海普超精CLY-200B使用環(huán)境要求
設(shè)備使用溫度:20±2℃。一天內(nèi)溫度梯度小于3℃。
濕度:<65%。
空氣壓力:≥0.6MPa。
空氣過濾精度:0.01um。除油、除水。
空氣流量: ≥0.1m³/min。
二維輪廓度測(cè)量?jī)x制造商中科CLY-200B主要配置
花崗石底座,滑動(dòng)橫梁,滑動(dòng)立柱,平移臺(tái)。
氣浮轉(zhuǎn)軸測(cè)頭(技術(shù))。
測(cè)量臂可快速更換,測(cè)量力可微調(diào)。
海普超精CLY-200B技術(shù)參數(shù)
調(diào)整臺(tái)
平移臺(tái)直徑200mm
平移臺(tái)行程100mm
Y軸(滑動(dòng)立柱)
行程360mm
運(yùn)動(dòng)直線度5µm
X軸(滑動(dòng)橫梁)
行程200mm
直線度2µm/200mm
氣浮測(cè)頭(測(cè)量臂長(zhǎng)55mm)
測(cè)量精度1µm
測(cè)量矢高(zui大)10mm
海普超精CLY-200B?應(yīng)用領(lǐng)域
二維輪廓度測(cè)量?jī)x是光學(xué)元器件檢測(cè)*的設(shè)備。可測(cè)量光學(xué)元件的輪廓度與光學(xué)方程的誤差。可逆推光學(xué)方程,對(duì)未知表面具有逆推系數(shù)的分析能力。適合全線光學(xué)元器件的測(cè)量(包括陡峭、平坦或小矢高等光學(xué)元器件)。