XD激光干涉儀技術(shù)綜述:
1D激光主要可以測(cè)量定位誤差
3D激光可以測(cè)量定位誤差、直線度誤差(雙向)
5D/6D激光可以測(cè)量定位誤差、直線度誤差(雙向)、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角
主要特點(diǎn)
- 同時(shí)測(cè)量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角
- 設(shè)計(jì)用于安裝在機(jī)床主軸上的5D/6D傳感器
- 可選的無(wú)線遙控傳感器zui長(zhǎng)的控制距離可到25米
- 可測(cè)量速度、加速度、振動(dòng)等參數(shù),并評(píng)估機(jī)床動(dòng)態(tài)特性。
- 設(shè)計(jì)緊湊、體積小,測(cè)量機(jī)床時(shí)不需三角架
- 集成干涉鏡與激光器于一體,簡(jiǎn)化了調(diào)整步驟,減少了調(diào)整時(shí)間