NANOMAP 500LS輪廓儀/三維形貌儀技術(shù)特點
常規(guī)的接觸式輪廓儀和掃描探針顯微鏡技術(shù)的*結(jié)合。
雙模式操作(針尖掃描和樣品臺掃描),即使在長程測量時也可以得到*化的小區(qū)域三維測圖。
針尖掃描采用精確的壓電陶瓷驅(qū)動掃描模式,三維掃描范圍從10μm X 10μm 到500μm X 500μm。樣品臺掃描使用高級別光學參考平臺能使長程掃描范圍到50mm。
在掃描過程中結(jié)合彩色光學照相機可對樣品直接觀察。
針尖掃描采用雙光學傳感器,同時擁有寬闊測量動態(tài)范圍(zui大至500μm)及亞納米級垂直分辨率 (zui小0.1nm )
軟件設(shè)置恒定微力接觸。