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三維XYZ向壓電納米定位臺(tái)

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公司名稱哈爾濱芯明天科技有限公司
品牌
型號(hào)XP-62X
所在地
廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
更新時(shí)間 2020-08-10
訪問次數(shù)244

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公司介紹主營產(chǎn)品

哈爾濱芯明天科技有限公司是專業(yè)從事微運(yùn)動(dòng)器（壓電陶瓷）和微運(yùn)動(dòng)控制器（壓電陶瓷控制器）產(chǎn)品的開發(fā)、生產(chǎn)、銷售及服務(wù)的高科技企業(yè)，我們的微運(yùn)動(dòng)器和微運(yùn)動(dòng)控制器產(chǎn)品是推動(dòng)微制造、微工業(yè)、微軍事、微生物、微醫(yī)療、微光學(xué)等微觀領(lǐng)域發(fā)展的核心技術(shù)，是了解和操縱微觀世界的機(jī)器心臟。

哈爾濱芯明天科技有限公司經(jīng)過多年的項(xiàng)目研究與技術(shù)積累，擁有了自己的核心技術(shù)，開發(fā)出了系列化的微運(yùn)動(dòng)器與微運(yùn)動(dòng)控制器產(chǎn)品，廣泛地應(yīng)用于國內(nèi)各高校、科研院所及生物顯微鏡、光學(xué)儀器、燃油噴射系統(tǒng)、微小器件加工機(jī)床的公司；公司與哈爾濱工業(yè)大學(xué)的多個(gè)研究所有著多年的密切合作關(guān)系，按照科研與產(chǎn)業(yè)化相結(jié)合的道路持續(xù)發(fā)展；公司擁有雄厚的技術(shù)儲(chǔ)備和研發(fā)制造能力，并且擁有一群充滿熱情和富有創(chuàng)新能力的青年隊(duì)伍。

微運(yùn)動(dòng)器（壓電陶瓷）產(chǎn)品是微小運(yùn)動(dòng)或微小變化的執(zhí)行器，典型特點(diǎn)是體積小、重量輕、輸出力大、功耗低、運(yùn)動(dòng)速度快、運(yùn)動(dòng)精度高、運(yùn)動(dòng)分辨率高。

微運(yùn)動(dòng)控制器（壓電陶瓷控制器）產(chǎn)品是控制微運(yùn)動(dòng)器如何產(chǎn)生和產(chǎn)生多大的微小運(yùn)動(dòng)或變化的控制器，與微運(yùn)動(dòng)器配套使用；具有液晶顯示、智能控制算法、驅(qū)動(dòng)功率大、嵌入式計(jì)算機(jī)控制等特點(diǎn)。

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壓電偏轉(zhuǎn)鏡,壓電納米掃描臺(tái),傳感器,控制器

產(chǎn)品簡介在線詢價(jià)

三維XYZ向壓電納米定位臺(tái)為小體積1~3維壓電定位臺(tái)，平臺(tái)內(nèi)部采用無摩擦、無空回的柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，采用有限元仿真分析優(yōu) 化，柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有超高的導(dǎo)向精度，具有高剛性、高負(fù)載、無摩擦、免維護(hù)等特點(diǎn)。壓電定位臺(tái)具有的控制精度，分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級(jí)，定位穩(wěn)定時(shí)間僅為毫秒量級(jí)，壓電定位臺(tái)為無磁材質(zhì)，使用過程中不受磁場(chǎng)的影響，壓電平臺(tái)體積小、結(jié)構(gòu)緊湊易于集成。

三維XYZ向壓電納米定位臺(tái) 產(chǎn)品信息

三維XYZ向壓電納米定位臺(tái)為小體積1~3維壓電定位臺(tái)，平臺(tái)內(nèi)部采用無摩擦、無空回的柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，采用有限元仿真分析優(yōu) 化，柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有超高的導(dǎo)向精度，具有高剛性、高負(fù)載、無摩擦、免維護(hù)等特點(diǎn)。壓電定位臺(tái)具有的控制精度，分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級(jí)，定位穩(wěn)定時(shí)間僅為毫秒量級(jí)，壓電定位臺(tái)為無磁材質(zhì)，使用過程中不受磁場(chǎng)的影響，壓電平臺(tái)體積小、結(jié)構(gòu)緊湊易于集成。

特性：

1~3維自由組合

• 位移行程8μm • 大承載0.8kg • 重復(fù)定位精度可達(dá)納米級(jí)

• 亞毫秒響應(yīng)時(shí)間

1-3維平移臺(tái)

P63系列壓電納米定位臺(tái)，包括X、Z、XY、XZ、 XYZ多種運(yùn)動(dòng)方式可選。超小體積易于集成配套。

典型應(yīng)用

• 顯微成像 • 納米定位

• 生物技術(shù) • 半導(dǎo)體技術(shù)

• 質(zhì)量保證測(cè)試 • 微車削

• 原子力顯微鏡

小體積、高精度、響應(yīng)速度快

P63系列壓電納米定位臺(tái)重要的特點(diǎn)是超級(jí)精密且體積非常小巧，尺寸僅為30×24×42mm（X軸尺寸為30×24×21mm），易于集成到任何掃描儀器中。

P63系列納米定位臺(tái)是超高精密納米定位系統(tǒng)，是為AFM、SPM、STM等顯微掃描納米操作等應(yīng)用而設(shè) 計(jì)的，具有超低慣性，響應(yīng)時(shí)間可達(dá)0.3ms，可配置高精度閉環(huán)傳感器進(jìn)行高分辨率高速掃描。

應(yīng)用實(shí)例

P63三維納米定位臺(tái)已經(jīng)應(yīng)用于基于SEM在線納米切削平臺(tái)切削力測(cè)試實(shí)驗(yàn)中。

三維XYZ向壓電納米定位臺(tái)技術(shù)參數(shù)：

型號(hào)	尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開環(huán)	P63.X7S P63.X7K	P63.Z7S P63.Z7K	P63.XY7S P63.XY7K	P63.XZ7S P63.XZ7K	P63.XYZ7S P63.XYZ7K	單位
運(yùn)動(dòng)自由度		X	Z	X、Y	X、Z	X、Y、Z
標(biāo)稱行程范圍（0~120V）		5.5	5.5	5.5/軸	5.5/軸	5.5/軸	μm±20%
大行程范圍（-20~150V）		8	8	8/軸	8/軸	8/軸	μm±20%
傳感器類型		SGS/-	SGS/-	SGS/-	SGS/-	SGS/-
閉/開環(huán)分辨率		0.2/0.1	0.2/0.1	0.2/0.1	0.2/0.1	0.2/0.1	nm
閉環(huán)線性度		0.2/-	0.2/-	0.2/-	0.2/-	0.2/-	%F.S.
閉環(huán)重復(fù)定位精度		0.1/-	0.1/-	0.1/-	0.1/-	0.15/-	%F.S.
俯仰/偏航/滾動(dòng)		<5	<5	<10	<10	<15	µrad
推/拉力		10/2	12/2	8/2	9/2	7/2	N
運(yùn)動(dòng)方向剛度		1.5	2	X1.2/Y1.4	X1.2/Z1.5	X0.9/Y1/Z1.2	N/μm±20%
空載諧振頻率		2	2.5	X1.3/Y1.9	X1.5/Z1.6	X0.9/Y0.95/Z1.2	kHz±20%
閉/開環(huán)空載階躍時(shí)間		1.5/0.3	1.5/0.3	1.5/0.3	1.5/0.3	1.5/0.3	ms±20%
閉環(huán)空載工作頻率	10%行程	1000	1000	500	500	200	Hz±20%
閉環(huán)空載工作頻率	*行程	200	200	100	100	50	Hz±20%
大承載		0.8	0.8	0.5	0.5	0.4	kg
靜電容量		0.8	0.8	0.8/軸	0.8/軸	0.8/軸	μF±20%
材質(zhì)		鋁	鋁	鋁	鋁	鋁
重量		70	70	120	120	160	g±5%