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P83.X一維X向壓電宏微復(fù)合臺(tái)P83為標(biāo)準(zhǔn)測(cè)微頭與可產(chǎn)生高分辨率位移的壓電陶瓷機(jī)構(gòu)相結(jié)合,通過(guò)手動(dòng)調(diào)節(jié)大范圍的測(cè)微頭實(shí)現(xiàn)13mm大范圍的移動(dòng),再通過(guò)控制驅(qū)動(dòng)電壓,使壓電陶瓷機(jī)構(gòu)相應(yīng)伸長(zhǎng)或縮短到預(yù)定位置,從而實(shí)現(xiàn)
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