【機床商務網(wǎng)欄目 企業(yè)參展】8月9日，第十一屆半導體設(shè)備與核心部件展示會(CSEAC)在無錫太湖國際博覽中心盛大開幕，該展會是我國半導體設(shè)備與核心部件行業(yè)具有權(quán)威性的展覽會之一。
 

　　匯專科技攜新一代超聲高效精密雕銑中心、超聲加工系統(tǒng)、超硬刀具和DDR立式高速轉(zhuǎn)臺等一系列核心技術(shù)產(chǎn)品亮相A3-T167展位，并就匯專超聲綠色機床在半導體行業(yè)的創(chuàng)新應用發(fā)表主題演講，與來自四面八方的業(yè)內(nèi)同仁一起探討交流半導體零部件加工領(lǐng)域創(chuàng)新性工藝解決方案，展位現(xiàn)場氣氛熱烈！
 

01 重點展品
 

02 匯專創(chuàng)新方案
 

　　1 單晶硅噴淋盤鉆孔加工
 

 

　　單晶硅噴淋盤是應用在半導體芯片蝕刻環(huán)節(jié)的關(guān)鍵部件。單晶硅作為硬脆性材料，加工過程容易產(chǎn)生崩缺，同時該工件孔深徑比高達51:1，加工難度非常大。客戶無成熟方案加工此種超深微孔，孔壁粗糙度和孔真圓度均達不到品質(zhì)要求。使用匯專超聲高效精密雕銑中心ULM-600，搭配超聲輔助加工系統(tǒng)及整體PCD鉆頭，可連續(xù)加工1,000多個D0.45x23mm的超深微孔(深徑比 51:1)；盲孔加工，入口處目視無崩缺；孔壁粗糙度Ra 0.088μm，比傳統(tǒng)加工粗糙度降低99%；孔真圓度達0.003mm。
 

　　2 鋁基碳化硅工件螺紋孔加工
 

 

　　鋁碳基化硅工件螺紋孔加工，客戶原加工方案單孔加工時間超3,600秒，耗時長，效率低；容易出現(xiàn)廢螺紋孔，造成工件報廢，良率低；需要6把絲錐才能加工完成一個孔，刀具壽命<1個孔，無法實現(xiàn)自動化生產(chǎn)；使用匯專超聲高效精密雕銑中心ULM-400搭配超聲輔助加工系統(tǒng)及整體PCD螺紋銑刀，一把刀具可加工超54個孔，刀具壽命提升300倍以上；加工效率顯著提升，加工單孔時間僅需360秒，可實現(xiàn)批量化生產(chǎn)。
 

　　3 石英玻璃噴淋盤鉆孔加工
 

 

　　加工石英玻璃噴淋盤，要求做到高效、高質(zhì)盲孔加工，但材料在加工過程中容易崩邊，加工效率和工件良率均為低下水平；使用匯專超聲高效精密雕銑中心ULM-600搭配超聲輔助加工系統(tǒng)及整體PCD鉆頭，加工效果顯著優(yōu)化。匯專整體PCD鉆頭可連續(xù)加工1,200個D0.5×5.0mm的孔，深徑比達10:1；單孔加工時間由傳統(tǒng)的270秒下降至75秒，加工時間縮短72%；孔壁光滑，孔口崩邊量由0.4mm下降到0.13mm，降低了67%。
 

　　03 主題演講
 

 

　　匯專科技集團股份有限公司半導體行業(yè)拓展部總監(jiān)李偉先生就匯專超聲綠色機床在半導體行業(yè)的創(chuàng)新應用發(fā)表主題演講，多個案例全面展示匯專特色方案。他表示，超聲技術(shù)搭配整體PCD刀具突破半導體硬脆材料高效精密加工瓶頸，對半導體行業(yè)單晶硅、石英玻璃、鋁基碳化硅、氧化鋁、石墨、氮化硅等難加工材料具有顯著的加工優(yōu)勢。匯專超聲綠色機床及超聲綠色工具在加工難加工材料方面的優(yōu)勢，對于助力實現(xiàn)半導體行業(yè)零部件的高效、高質(zhì)加工，推動構(gòu)建更健康良好的國內(nèi)半導體產(chǎn)業(yè)生態(tài)環(huán)境，實現(xiàn)本土產(chǎn)業(yè)可持續(xù)發(fā)展具有重大意義。
 

　　“芯”時代，“芯”發(fā)展，匯專攜手共創(chuàng)“芯”未來。目前中國數(shù)字信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展空間巨大，半導體行業(yè)是數(shù)字信息產(chǎn)業(yè)的根基，匯專科技將繼續(xù)服務于國家戰(zhàn)略，堅定不移推進提升數(shù)控機床研發(fā)及生產(chǎn)能力，推動完善國內(nèi)半導體產(chǎn)業(yè)鏈基礎(chǔ)，增強國內(nèi)半導體行業(yè)競爭力，助力國內(nèi)半導體行業(yè)早日搶占“芯”賽道！
 

　　如果有半導體行業(yè)零部件加工需求，隨時聯(lián)系我們！
 

　　展會尚未結(jié)束，精彩仍在繼續(xù)，
 

　　歡迎蒞臨匯專展位參觀交流！