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    半導(dǎo)體設(shè)備真空腔體密封面解決方案

    科技動態(tài) 2022年03月14日 09:31:15來源:牧野中國 14045
    摘要之前,我們分別介紹了牧野Smart Tool的Super Hale 和 Synchro Spinner加工功能在半導(dǎo)體設(shè)備真空腔體密封面的加工中的應(yīng)用。
      【機床商務(wù)網(wǎng)欄目 科技動態(tài)】之前,我們分別介紹了牧野Smart Tool的Super Hale 和 Synchro Spinner加工功能在半導(dǎo)體設(shè)備真空腔體密封面的加工中的應(yīng)用。
     
      本期我們介紹其中的另一項黑科技:
     
      Belt Track Finisher (帶式磨削) 加工裝置。
     
      Belt Track Finisher (帶式磨削)加工裝置是實現(xiàn)超真空面密封無研磨加工的另一項場景應(yīng)用,是加工中心直接將真空裝置的密封面加工成高品質(zhì)量,實現(xiàn)其表面實現(xiàn)超高真空密封效果的可行性方案之一。
     
      Belt Track Finisher (帶式磨削)加工裝置:
     
     
      傳統(tǒng)的加工方式,由于刀具旋轉(zhuǎn)會產(chǎn)生從內(nèi)側(cè)到外側(cè)的切削痕跡。
     
      真空密封面中氦氣沿著切削痕跡泄漏,無法維持真空。
     
      為了保持高真空狀態(tài),必須進行研磨作業(yè)。
     
      帶式磨削精加工裝置,研磨紋理可以跟工具前進方向平行運動,沒有從內(nèi)側(cè)到外側(cè)的切削痕跡,因此真空面沒有泄露。
     
     
      加工特點
     
      ?沿工具前進方向平行的研磨紋理
     
      ?沒有真空泄露方向的切削痕跡
     
     
      關(guān)鍵技術(shù)
     
      ?新開發(fā)的接觸輪,提高研磨效率
     
      ?帶式磨削工藝,不留切削痕跡
     
      ?更換砂帶簡單,自動調(diào)整張力
     
      ?無需氣管、電線。可使用 ATC,實現(xiàn)連續(xù)加工
     
      ?選擇不同的砂帶寬度和顆粒度,可以加工多種材料
     
     
      加工案例
     
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