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    “黑科技”來(lái)了!牧野Super Hale 加工技術(shù)

    名企在線 2022年02月14日 09:56:02來(lái)源:牧野 6309
    摘要精密半導(dǎo)體制造過(guò)程對(duì)真空等級(jí)要求極高。如下圖所示,真空腔體和相關(guān)的腔體、閥門(mén)之間都是靠真空密封來(lái)保證的,所以對(duì)于這些密封面的密封要求也極其苛刻。
      【機(jī)床商務(wù)網(wǎng)欄目 名企在線】精密半導(dǎo)體制造過(guò)程對(duì)真空等級(jí)要求極高。如下圖所示,真空腔體和相關(guān)的腔體、閥門(mén)之間都是靠真空密封來(lái)保證的,所以對(duì)于這些密封面的密封要求也極其苛刻
     
    真空腔體的周邊設(shè)備
     
      加工這些真空腔體的密封面時(shí),若采用傳統(tǒng)的銑削方法,會(huì)在刀具旋轉(zhuǎn)方向產(chǎn)生切削痕跡缺陷。為了保持密封面的高真空狀態(tài),不得不對(duì)加工面進(jìn)行研磨處理,存在對(duì)技能人員要求高、不能自動(dòng)化生產(chǎn)、品質(zhì)不穩(wěn)定、加工成本高等問(wèn)題。
     
    加工的真空密封面存在切削痕跡缺陷
     
      01、黑爾(Hale)加工
     
      黑爾(Hale)是抑制振動(dòng)的工具的構(gòu)造,起源是車(chē)床與肩刨床(黑爾加工=刮削加工),工具的頸部被叫黑爾(Hale)結(jié)構(gòu)。
     
      1980年代,牧野開(kāi)發(fā)了NC控制的黑爾(Hale)加工法,在橡膠(密封圈)行業(yè)被廣泛應(yīng)用。
     

     
      傳統(tǒng)的黑爾加工在真空腔體密封面加工上的應(yīng)用也存在如下問(wèn)題
     
      1)使用標(biāo)準(zhǔn)的黑爾加工模式;
     
      2)各公司獨(dú)立設(shè)計(jì)、制作刮刀;
     
      3)在密封面在直面加工中表現(xiàn)良好,轉(zhuǎn)角處會(huì)留有橫向和豎向條紋;
     
      4)必須有熟練技能人員進(jìn)行細(xì)微的研磨。
     
     
      02、Super Hale 的研發(fā)和應(yīng)用
     
      為了實(shí)現(xiàn)不需要人工干預(yù)和研磨的真空腔體密封面加工,牧野開(kāi)發(fā)了Super Hale的專用刀具專用的控制,為該行業(yè)提供了更加優(yōu)越的解決方案。
     
      1)縮短加工時(shí)間
     
      進(jìn)給速度6000mm/min加工,利用牧野特有的Super Hale控制。
     
    Normal Hale加工:
     
      工具材料:WC
     
      進(jìn)給速度:1000mm/min
     
      加工深度:0.003mm/次(0.05mm)
     
      加工時(shí)間:13分鐘30秒
     
      Super Hale加工:
     
      工具材料:WC
     
      進(jìn)給速度:6000mm/min
     
      加工深度:0.003mm/次(0.05mm)
     
      加工時(shí)間:2分鐘46秒加工時(shí)間減少達(dá)79%
     
      2)提高表面品質(zhì)
     
      用Super Hale控制抑制轉(zhuǎn)向波紋高度:
     
    Normal Hale控制
     
    Super Hale控制
     
      3)無(wú)需進(jìn)行研磨作業(yè)
     
      Super Hale在超高真空(10?¹??/?)狀態(tài)下的氦氣泄露測(cè)試中,表現(xiàn)卓越,不會(huì)出現(xiàn)漏氣現(xiàn)象。
     
    Super Hale 適用牧野設(shè)備
     
      1)BT40/HSK-A63等
     
    a51nx/ a61nx/ a500Z
     
      2)BT50/HSK-A100等
     
    a71nx/ a81nx/ T1
     
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