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    直線柵尺 | 機(jī)床加工的精準(zhǔn),還得看它

    2020年10月19日 10:56:38來源:Mitutoyo三豐量儀量具點(diǎn)擊:16496

      【機(jī)床商務(wù)網(wǎng)欄目 科技動(dòng)態(tài)】直線柵尺為廣大加工機(jī)行業(yè)所熟知,經(jīng)常被應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床及高精度測量設(shè)備上,來檢測直線位移或是角度位移。
     

     
      作為一把“尺子”,直線柵尺自身的精度固然決定了數(shù)控機(jī)床的品質(zhì)。在車床、銑床等通用機(jī)床,以及包括專有設(shè)備在內(nèi)的所有機(jī)床、專業(yè)機(jī)械、半導(dǎo)體制造裝置,精密測量儀器等方面,直線柵尺已經(jīng)逐步替代了傳統(tǒng)的刻度盤定位操作,大幅提高了機(jī)器的工作效率。
     
     
      三豐CMM均采用自社研發(fā)的柵尺保證高精度測量
     
      直線柵尺的應(yīng)用
     
      01、半導(dǎo)體裝置用于切割鋸的定位
     
     
      02、曝光裝置用于掃描臺的定位
     
     
      03、電子顯微鏡用于掩膜的觀測/電路圖案的測長等
     
     
      04、各種NC機(jī)床用于高精度全閉環(huán)控制
     
     
      05、電子元件安裝機(jī)用于電子元件的高速、高精度安裝
     
     
      06、FPD檢查裝置用于缺陷檢查、修復(fù)定位
     
     
      柵尺的一條龍生產(chǎn)
     
      三豐柵尺在日本宇都宮事業(yè)所的清原生產(chǎn)部一條龍生產(chǎn),這里集線性編碼器用玻璃柵尺的制造、電裝部件的組裝、產(chǎn)品的組裝、檢查于一身,并運(yùn)用這一優(yōu)勢,不斷地推進(jìn)柵尺的高精度化和質(zhì)量的提升。
     
    清原生產(chǎn)部的地下研究樓
     
      具備高精度刻度加工、精密測量所需要的環(huán)境
     
      利用清原穩(wěn)固的地基和地下9m穩(wěn)定的環(huán)境特性,可以大限度抑制全年溫度、濕度的變化和外部振動(dòng)的傳播。在這棟研究樓中開展的標(biāo)準(zhǔn)刻度的制作、相關(guān)精度評估及各種研究,是線性柵尺的精度、品質(zhì)的保障。
     
      三豐柵尺的高信賴性
     
      線性編碼器的精度保證,需要高度可靠的評估系統(tǒng)。
     
      清原生產(chǎn)部的地下研究樓內(nèi)設(shè)有自主開發(fā)的超高精度測長機(jī),作為線性編碼器評估系統(tǒng),該設(shè)備不僅擁有地下穩(wěn)定的周圍環(huán)境,而且實(shí)現(xiàn)了激光干涉測長光路的真空化,大限度排除了不確定性因素。
     
    高可靠度的評估系統(tǒng)
     
      該設(shè)備的誤差達(dá)到世界級水平,這在間的相互比較中也得到了確認(rèn)。憑借高超的技術(shù)水平,曾榮獲2004年度精密工學(xué)會(huì)論文獎(jiǎng)、2005年度發(fā)那科FA機(jī)器人財(cái)團(tuán)FA論文獎(jiǎng)。
     
      可追溯性
     
      三豐直線柵尺可溯源到日本國家基準(zhǔn)。
     
    ▲柵尺的溯源體系圖
     
      柵尺的分類
     
      線性編碼器根據(jù)控制方式的不同,外觀結(jié)構(gòu)的不同,原點(diǎn)確立方式,檢出原理等可分為多種類型。
     
      分類如此“復(fù)雜”,怎樣才能選擇出適合的那款柵尺呢?下一期將介紹柵尺的選型,敬請關(guān)注喲。
     
    (來源:Mitutoyo三豐量儀量具)


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