主要特點:
設(shè)備特點:
1、全自動兼容8inch、12inch片生產(chǎn),帶條碼自動掃描系統(tǒng)
2、配合特殊剝離涂層,有效減少材料損傷,良品率高
3、采用*的光斑整形技術(shù),光斑均勻分布
4、擁有光斑質(zhì)量監(jiān)控與反饋系統(tǒng),保證光斑的穩(wěn)定性
5、攜帶激光加工能量監(jiān)控與自動補償系統(tǒng),保證能量的穩(wěn)定性
主要參數(shù):
主要參數(shù) | 加工尺寸 | 8inch、12inch |
加工速度 | 1000mm/s | |
加工精度 | ±1μm | |
平臺參數(shù) | 行程300mm×300mm 重復(fù)定位精度±0.001mm | |
激光器參數(shù) | 紫外 | |
稼動率 | >0.98 | |
重大故障間隙時間 | >1000H | |
良率 | ≥99.5% |
加工效果: