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一般晶圓背磨製程所要求的高平坦度與表面粗糙度,唯有氣浮式主軸搭配鑽石砂輪加工吸附於氣浮式工作臺上的晶圓才能達(dá)成。.應(yīng)用範(fàn)圍 晶陶加工機(jī)可應(yīng)用於晶圓、陶瓷、石英、...
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