2022年05月，由成都太科光電技術(shù)有限責任公司牽頭聯(lián)合高校、研究院所共同研制的“φ800mm超大口徑平面數(shù)字激光干涉儀”產(chǎn)品順利通過國產(chǎn)成果鑒定。項目于2013年由國內(nèi)某研究院立項開始關(guān)鍵技術(shù)攻關(guān)，于2018年由四川省國防科學(xué)技術(shù)工業(yè)辦公室立項開展產(chǎn)品化研制，于2018年12月研制完成國內(nèi)產(chǎn)品，于2019年至2022年完成用戶試用與工程化提升。項目團隊經(jīng)過9年艱苦攻關(guān)，實現(xiàn)了φ800mm超大口徑平面數(shù)字激光干涉儀產(chǎn)品化，完成了國產(chǎn)超大口徑大型精密光學(xué)測試儀器的自主可控，進口替代。

φ800mm超大口徑平面數(shù)字激光干涉儀產(chǎn)品

由士牽頭組成的成果鑒定委員會，在聽取項目團隊所做的工作報告、技術(shù)研究報告與現(xiàn)場考察基礎(chǔ)上，對項目成果給予了客觀的評價。

φ800mm超大口徑平面數(shù)字激光干涉儀成果鑒定現(xiàn)場

鑒定委員會一致認為：該項目產(chǎn)品實現(xiàn)了φ800mm超大口徑平面數(shù)字激光干涉儀國內(nèi)套研發(fā)與應(yīng)用。項目技術(shù)難度大，創(chuàng)新性強，關(guān)鍵技術(shù)自主可控，項目成果總體技術(shù)處于水平，其中基于大視場的共軸插入快速對準技術(shù)處于水平。

項目研制的國內(nèi)φ800mm超大口徑平面數(shù)字激光干涉儀產(chǎn)品，在攻克多項核心技術(shù)的基礎(chǔ)上，實現(xiàn)了儀器整機精度達到國際同類水平，部分指標超過國際水平。儀器產(chǎn)品精度：標準TF鏡與標準RF鏡面形精度PV均優(yōu)于52nm（λ/12），TF鏡與RF鏡不配修直接成腔的系統(tǒng)精度PV優(yōu)于63nm（λ/10），系統(tǒng)中頻精度PSD1小于0.80nm，系統(tǒng)RMS重復(fù)性優(yōu)于0.21nm（λ/3000）。

φ800mm超大口徑平面數(shù)字激光干涉儀產(chǎn)品系統(tǒng)精度

φ800mm超大口徑平面數(shù)字激光干涉儀產(chǎn)品系統(tǒng)重復(fù)性

項目在技術(shù)攻關(guān)與產(chǎn)品化研制過程中，還重點開展了關(guān)鍵核心單元技術(shù)的國產(chǎn)化研制，整機除大口徑光學(xué)材料外實現(xiàn)全部國產(chǎn)化，國產(chǎn)化率到達85%以上。尤其是研制出了件φ800mm超大口徑標準透射標準鏡（TF鏡）單元核心部件，實現(xiàn)標準TF鏡φ800mm全口徑面形精度PV優(yōu)于42.2nm（λ/15）且中頻PSD1小于0.80nm。

φ800mm超大口徑標準透射鏡面形精度

φ800mm超大口徑平面數(shù)字激光干涉儀產(chǎn)品的研制成功標志著我國在超大口徑精密光學(xué)檢測領(lǐng)域又邁進了關(guān)鍵一步。太科人始終堅持科技創(chuàng)新、服務(wù)用戶、支撐國家高科技發(fā)展的信念，致力于攻堅克難打破國外，實現(xiàn)關(guān)鍵核心技術(shù)自主可控，為我國精密光電測試領(lǐng)域做出應(yīng)有的貢獻！