要了解手動(dòng)測(cè)量?jī)x的測(cè)量精度，就必須了解視頻測(cè)量?jī)x的誤差來(lái)源。影像測(cè)量?jī)x上的測(cè)量是單軸或二維平面坐標(biāo)的測(cè)量。測(cè)量時(shí)，先對(duì)焦，再對(duì)齊，讀取（計(jì)數(shù)），然后計(jì)算處理。讀數(shù)來(lái)自標(biāo)尺，即光柵系統(tǒng)，聚焦依賴(lài)于光學(xué)成像系統(tǒng)，還有直接影響測(cè)量效果和精度的照明光源，因?yàn)椋瑢?duì)于成像法測(cè)量的儀器，如果被測(cè)物體不能得到有效、正確的照明，則測(cè)量結(jié)果明顯偏離其真實(shí)尺寸。除上述因素外，環(huán)境條件也是制約測(cè)量精度的因素，不容忽視。基于以上分析，可以總結(jié)出以下幾個(gè)方面的誤差來(lái)源。

1）光柵尺計(jì)數(shù)誤差；

2）工作臺(tái)移動(dòng)時(shí)直線度和角擺造成的誤差；

3）工作臺(tái)兩個(gè)測(cè)量軸的垂直度誤差；

4）鏡片光軸與工作臺(tái)不垂直帶的誤差；

5）測(cè)量環(huán)境溫度變化引起的誤差；

6) 光源照明條件變化引起的對(duì)焦和對(duì)準(zhǔn)誤差。

在這些因素中，前四個(gè)誤差為硬件誤差，在影像測(cè)量?jī)x的制造過(guò)程中已經(jīng)形成并固定，一般無(wú)法改變。以減少其影響。然后一項(xiàng)經(jīng)常被忽略。在實(shí)際測(cè)量中，當(dāng)光源的光照條件發(fā)生變化時(shí)，直接影響到被測(cè)工件的光照效果和圖像質(zhì)量。如果圖像測(cè)量?jī)x的圖像是通過(guò)CCD接收的，雖然CCD具有自動(dòng)調(diào)節(jié)增益的功能，但是當(dāng)亮度過(guò)高時(shí)，就會(huì)失去調(diào)節(jié)功能，導(dǎo)致工件的圖像縮小到被測(cè)量。當(dāng)亮度過(guò)低時(shí)，工件的圖像會(huì)變大。

這種影響，在測(cè)量重復(fù)圖案結(jié)構(gòu)之間的間距時(shí)，只要光照條件在整個(gè)測(cè)量過(guò)程中保持不變，就可以忽略，因?yàn)槊總€(gè)重復(fù)圖案結(jié)構(gòu)同時(shí)變大或變小，間距的測(cè)量可以忽略.計(jì)算直接消除了圖像變形的影響，如測(cè)量玻璃尺、格板間距；除此特殊情況外，如測(cè)量圓的直徑、工件的長(zhǎng)度和寬度，都會(huì)帶來(lái)明顯的誤差。