micro-vu影像儀vertex、excel 詳細說明：
microvu/micro-vu影像儀、三坐標、二次元、2.5次元、三次元介紹：
改款后手動機型：microvu/micro-vu影像儀sol系列
形號 sol 161 sol 311
量測行程 160x160x160mm 315x315x160mm
外形尺寸 545x705x775mm 1054x1054x775mm
重量 55kg 106kg
承載重量 9kg 9kg
平臺材質 鋁合金 鋁合金
基座材質 鋁合金 鋁合金
傳動方式 x&y steel cross roller bearings steel cross roller bearings
xy 精度 u=（2.8+l/150）μm u=（2.8+l/150）μm
z 精度 u=（2.8+l/100）μm u=（2.8+l/150）μm
xy 重現性 u=2.8μm u=2.8μm
z 重現性 u=2.8μm u=2.8μm
光學尺分辨率 1.0μm 1.0μm
影像 高分辨率彩色系統(tǒng) 高分辨率彩色系統(tǒng)
光源 輪廓光,表面光,同軸光 輪廓光,表面光,同軸光
光學系統(tǒng)/放大倍率 6.5:1 光學 zoom, 0.7-4.5x 6.5:1 光學 zoom, 0.7-4.5x
量測系統(tǒng) inspec for windows metrology software inspec for windows metrology software
工作環(huán)境 20℃±2°,30-80% 濕度 20℃±2°,30-80% 濕度
電源系統(tǒng) 93-264vac, 47-63hz, 10amp 93-264vac, 47-63hz, 10amp
自動型cnc：
microvu/micro-vu影像儀vertex系列
型號 vertex251hc/vertex251uc vertex 311hc/vertex 311uc
xy 精度 uxy=（2.0+l/250）μm uxy=（2.5+l/250）μm
z 精度 ux=（2.5+l/150）μm ux=（3.0+l/150）μm
xy 重現性 2.0μm 2.5μm
z 重現性 2.0μm 2.0μm
xy 加速度 500mm/s2
z 加速度 200mm/s2
xy 移動速度 250mm/s
z 移動速度 100mm/s
光學尺分辨率 1.0μm, 0.5μm, 0.1μm
量測行程 250x160x160mm 315x315x150mm
外形尺寸 808x606x1033mm 1090x865x990mm
重量 98kg 125kg
承載重量 10kg 12kg
基座材質 鋁合金（花崗巖選購l）
傳動方式 unique monorail x & y design, monorail linear z
電控系統(tǒng) 伺服系統(tǒng): cnc, 鼠標, 搖桿
光學系統(tǒng) &放大倍率 12:1 光學 zoom, 17-410x 或 6.5:1光學 zoom, 20-250x
影像 & 光源 紅光led （黑白系統(tǒng)）或白光 led（彩色系統(tǒng)）
軟件 inspec for windows metrology software
工作環(huán)境 20℃±2°,30-80% 濕度
microvu/micro-vu影像儀excel 500系列
型號 501 um / 501 uc 502 um / 502 uc
量測行程 400 x 500 x 160 mm 400 x 500 x 250 mm
外形尺寸 1100 x 1200 x 1550mm 1100 x 1200 x 1650mm
重量 860kg 900kg
xy 移動速度 700 mm/s
xy 加速度 1400mm/s2
z 移動速度 100 mm/s
z 加速度 450mm/s2
光學尺分辨率 0.1μm
xy 精度 2.5 + l/200 2.8 + l/200
z精度 2.5 + l/100 3.0 + l/100
鏡頭倍率（光學,數字） 36x（12x, 3x）
放大倍率 15x-540x to 30x-1080x
表面光, 輪廓光,同軸光光源 紅光led （黑白系統(tǒng)） 白光 led（彩色系統(tǒng)）
承載重量 100kg
電源系統(tǒng) 93-264 vac,47-63 hz
工作溫度 20℃±2°
存放溫度 -25℃ ~ 60℃
工作濕度 30%-80%
microvu/micro-vu影像儀excel 650系列：
型號 excel651um excel651uc excel652um excel652uc excel654um excel654uc
測量行程 650x650x160mm 650x650x250mm 650x650x400mm
外形尺寸 1311x1604x1608mm 1311x1604x1788mm 1311x1604x2088mm
重量 1530kg 1550kg 1550kg
承載重量 100kg 100kg 100kg
平臺材質 鋼構
基座材質 花崗巖
傳動方式 unique x&y monorail, monorail linear z
電控系統(tǒng) 伺服系統(tǒng): cnc, 鼠標, 搖桿
電源系統(tǒng) 93-264 vac, 47-63 hz,zui大10 amp
xy 精度 uxy=2.5+l/300μm uxy=2.8+l/300μm uxy=3.2+l/300μm
z 精度 ux=2.5+l/150μm ux=3.0+l/150μm ux=3.5+l/150μm
xy 重現性 2.5μm 2.8μm 3.2μm
z 重現性 2.5μm 3.0μm 3.5μm
xy 加速度 1000mm/s2
z 加速度 500mm/s2
xy 移動速度 500mm/s
z 移動速度 150mm/s
光學尺分辨率 0.1μm
影像 黑白 彩色 黑白 彩色 黑白 彩色
光源 紅光led 白光led 紅光led 白光led 紅光led 白光led
照明系統(tǒng) 表面光, 輪廓光,同軸光
光學系統(tǒng)/放大倍率 12x 光學/2.5x 數字 zoom / 15x~1200x 放大倍率
軟件 inspec for windows metrology software（2000/xp/vista）
工作環(huán)境 20℃（68℉）±2°,30-80%濕度
microvu/micro-vu影像儀excel 1050系列：
型號 excel 1051 um/uc excel 1052 um/uc excel 1054 um/uc
量測行程 1050 x 1050 x 160mm 1050 x 1050 x 250mm 1050 x 1050 x 400mm
外形尺寸 1720 x 2000 x 1650mm 1720 x 2000 x 1850mm 1720 x 2000 x 2000mm
重量 2700kg 2750kg 2850kg
光學尺分辨率 0.1μm
xy 精度,e2 3.3 + l/300 3.6 + l/300 4.3 + l/200
z 精度,e1 2.8 + l/100 3.3 + l/100 3.8 + l/100
鏡頭倍率光學,數字） 36x （12x,3x）
表面光, 輪廓光,同軸光光源 紅光led （黑白系統(tǒng)） 白光 led（彩色系統(tǒng)）
放大倍率 15x - 540x to 30x - 1080x
電源系統(tǒng) 93-264 vac,47-63 hz
工作溫度 20℃±2°
存放溫度 -25℃ ~ 60℃
工作濕度 30%-80%
microvu/micro-vu影像儀、三坐標、二次元、2.5次元、三次元介紹：
改款后手動機型：microvu/micro-vu影像儀sol系列
形號 sol 161 sol 311
量測行程 160x160x160mm 315x315x160mm
外形尺寸 545x705x775mm 1054x1054x775mm
重量 55kg 106kg
承載重量 9kg 9kg
平臺材質 鋁合金 鋁合金
基座材質 鋁合金 鋁合金
傳動方式 x&y steel cross roller bearings steel cross roller bearings
xy 精度 u=（2.8+l/150）μm u=（2.8+l/150）μm
z 精度 u=（2.8+l/100）μm u=（2.8+l/150）μm
xy 重現性 u=2.8μm u=2.8μm
z 重現性 u=2.8μm u=2.8μm
光學尺分辨率 1.0μm 1.0μm
影像 高分辨率彩色系統(tǒng) 高分辨率彩色系統(tǒng)
光源 輪廓光,表面光,同軸光 輪廓光,表面光,同軸光
光學系統(tǒng)/放大倍率 6.5:1 光學 zoom, 0.7-4.5x 6.5:1 光學 zoom, 0.7-4.5x
量測系統(tǒng) inspec for windows metrology software inspec for windows metrology software
工作環(huán)境 20℃±2°,30-80% 濕度 20℃±2°,30-80% 濕度
電源系統(tǒng) 93-264vac, 47-63hz, 10amp 93-264vac, 47-63hz, 10amp
自動型cnc：
microvu/micro-vu影像儀vertex系列
型號 vertex251hc/vertex251uc vertex 311hc/vertex 311uc
xy 精度 uxy=（2.0+l/250）μm uxy=（2.5+l/250）μm
z 精度 ux=（2.5+l/150）μm ux=（3.0+l/150）μm
xy 重現性 2.0μm 2.5μm
z 重現性 2.0μm 2.0μm
xy 加速度 500mm/s2
z 加速度 200mm/s2
xy 移動速度 250mm/s
z 移動速度 100mm/s
光學尺分辨率 1.0μm, 0.5μm, 0.1μm
量測行程 250x160x160mm 315x315x150mm
外形尺寸 808x606x1033mm 1090x865x990mm
重量 98kg 125kg
承載重量 10kg 12kg
基座材質 鋁合金（花崗巖選購l）
傳動方式 unique monorail x & y design, monorail linear z
電控系統(tǒng) 伺服系統(tǒng): cnc, 鼠標, 搖桿
光學系統(tǒng) &放大倍率 12:1 光學 zoom, 17-410x 或 6.5:1光學 zoom, 20-250x
影像 & 光源 紅光led （黑白系統(tǒng)）或白光 led（彩色系統(tǒng)）
軟件 inspec for windows metrology software
工作環(huán)境 20℃±2°,30-80% 濕度
microvu/micro-vu影像儀excel 500系列
型號 501 um / 501 uc 502 um / 502 uc
量測行程 400 x 500 x 160 mm 400 x 500 x 250 mm
外形尺寸 1100 x 1200 x 1550mm 1100 x 1200 x 1650mm
重量 860kg 900kg
xy 移動速度 700 mm/s
xy 加速度 1400mm/s2
z 移動速度 100 mm/s
z 加速度 450mm/s2
光學尺分辨率 0.1μm
xy 精度 2.5 + l/200 2.8 + l/200
z精度 2.5 + l/100 3.0 + l/100
鏡頭倍率（光學,數字） 36x（12x, 3x）
放大倍率 15x-540x to 30x-1080x
表面光, 輪廓光,同軸光光源 紅光led （黑白系統(tǒng)） 白光 led（彩色系統(tǒng)）
承載重量 100kg
電源系統(tǒng) 93-264 vac,47-63 hz
工作溫度 20℃±2°
存放溫度 -25℃ ~ 60℃
工作濕度 30%-80%
microvu/micro-vu影像儀excel 650系列：
型號 excel651um excel651uc excel652um excel652uc excel654um excel654uc
測量行程 650x650x160mm 650x650x250mm 650x650x400mm
外形尺寸 1311x1604x1608mm 1311x1604x1788mm 1311x1604x2088mm
重量 1530kg 1550kg 1550kg
承載重量 100kg 100kg 100kg
平臺材質 鋼構
基座材質 花崗巖
傳動方式 unique x&y monorail, monorail linear z
電控系統(tǒng) 伺服系統(tǒng): cnc, 鼠標, 搖桿
電源系統(tǒng) 93-264 vac, 47-63 hz,zui大10 amp
xy 精度 uxy=2.5+l/300μm uxy=2.8+l/300μm uxy=3.2+l/300μm
z 精度 ux=2.5+l/150μm ux=3.0+l/150μm ux=3.5+l/150μm
xy 重現性 2.5μm 2.8μm 3.2μm
z 重現性 2.5μm 3.0μm 3.5μm
xy 加速度 1000mm/s2
z 加速度 500mm/s2
xy 移動速度 500mm/s
z 移動速度 150mm/s
光學尺分辨率 0.1μm
影像 黑白 彩色 黑白 彩色 黑白 彩色
光源 紅光led 白光led 紅光led 白光led 紅光led 白光led
照明系統(tǒng) 表面光, 輪廓光,同軸光
光學系統(tǒng)/放大倍率 12x 光學/2.5x 數字 zoom / 15x~1200x 放大倍率
軟件 inspec for windows metrology software（2000/xp/vista）
工作環(huán)境 20℃（68℉）±2°,30-80%濕度
microvu/micro-vu影像儀excel 1050系列：
型號 excel 1051 um/uc excel 1052 um/uc excel 1054 um/uc
量測行程 1050 x 1050 x 160mm 1050 x 1050 x 250mm 1050 x 1050 x 400mm
外形尺寸 1720 x 2000 x 1650mm 1720 x 2000 x 1850mm 1720 x 2000 x 2000mm
重量 2700kg 2750kg 2850kg
光學尺分辨率 0.1μm
xy 精度,e2 3.3 + l/300 3.6 + l/300 4.3 + l/200
z 精度,e1 2.8 + l/100 3.3 + l/100 3.8 + l/100
鏡頭倍率光學,數字） 36x （12x,3x）
表面光, 輪廓光,同軸光光源 紅光led （黑白系統(tǒng)） 白光 led（彩色系統(tǒng)）
放大倍率 15x - 540x to 30x - 1080x
電源系統(tǒng) 93-264 vac,47-63 hz
工作溫度 20℃±2°
存放溫度 -25℃ ~ 60℃
工作濕度 30%-80%
