型     號(hào)： FUNCTION 786

行     程： X軸  700 mm

Y軸   800 mm

Z軸  600 mm      

結(jié)構(gòu)型式：移動(dòng)橋式

傳動(dòng)方式：直流伺服系統(tǒng)+ 預(yù)載荷高精度空氣軸承

長度測(cè)量系統(tǒng)：RENISHAW開放式光柵尺，分辨率為0.5μm

機(jī)    臺(tái)：高精度花崗巖平臺(tái)

使用環(huán)境：溫度（20±2）℃，濕度55%-65% ，溫度梯度1℃/m，溫度變化 1℃/h

空氣壓力：0.4 MPa - 0.5 Mpa

空氣流量：120 L/min – 140 L/min

整機(jī)尺寸（LWH）：1.8 m X 1.35 m X 2.65m

機(jī)臺(tái)承重：800 kg ，整機(jī)重量：1500Kg

空間測(cè)量精度：（3+L/300）μm