三軸導軌均采用高精密天然花崗巖，具有相同的溫度特性及剛性
三軸導軌均采用高精度自潔式空氣軸承，運動更平穩(wěn)，導軌*受磨損
單邊驅(qū)動活動橋式結(jié)構(gòu)，顯著提高運動性能，確保測量精度及穩(wěn)定性
Y軸采用整體燕尾式導軌，有效消除了運動扭擺，保證了測量精度及穩(wěn)定性
歐洲開放式金屬光柵尺，分辨率0.4 um
控制系統(tǒng)采用歐洲高速高精度自動控制系統(tǒng)，該系統(tǒng)內(nèi)嵌32位微處理器，真正實現(xiàn)實時控制
三軸均采用大功率驅(qū)動器、電機及雙級減速裝置，確保傳動迅速、準確

	800	1000
機器型號	F10128	F121510	F122010	F122510	F123010
行程	1000	1200	1200	1200	1200
	1200	1500	2000	2500	3000
	800	1000	1000	1000	1000
外形尺寸	2370	2820	3320	3820	4320
	1694	1980	2100	2100	2100
	3150	3460	3750	3750	3750
承重	1200	2000	2000	2000	2000
機器重量	4000	5300	8500	10500	12500
MPEe（μm）	4 +L/300	5 +L/300	5 +L/300	7 +L/300	7 +L/300
MPEp（μm）	4.5	5.5	5.5	5.5	5.5
光柵尺分辨率（μm）	0.4	0.4	0.4	0.4	0.4
空間移動速度（mm/s）	200	200	200	200	200
空間移動加速度（mm/S2）	450	450	450	450	450
流量/供氣壓力（μm）	150 NI/min. 0.45Mp	150 NI/min. 0.45Mp	150 NI/min. 0.45Mp	150 NI/min. 0.45Mp	150 NI/min. 0.45Mp
溫度	20±2℃	20±2℃	20±2℃	20±2℃	20±2℃
濕度	45%-75%	45%-75%	45%-75%	45%-75%	45%-75%