采用L型移動橋式，由兩到三個高精度等高塊穩(wěn)固支撐Y向槽型導(dǎo)軌，左立柱與橫梁、滑架、鞍座共同組成移動橋，提高了運動質(zhì)心，減少了阿貝誤差
X軸和Z軸均采用超精加工及經(jīng)過表面硬質(zhì)陽極化處理的航空鋁合金
Y軸采用一體化槽型精密花崗石導(dǎo)軌
Z軸采用的可調(diào)式氣動平衡設(shè)計，采用柔性懸掛系統(tǒng)，避免了軸向運動和傳動系統(tǒng)之間的干涉問題，提高了測量機的精度和*穩(wěn)定性
各運動軸均采用直流伺服驅(qū)動+增強型同步帶，確保運動的平穩(wěn)和準確定位
三軸均采用預(yù)載荷空氣軸承，運動更平穩(wěn)，導(dǎo)軌*受磨損
三軸均采用高精度歐洲進口光柵尺，系統(tǒng)分辨率可達0.078um；同時采用一端固定，一端自由伸縮的方式安裝，減少了光柵尺的變形，保證在溫度變化時的線性伸縮
  采用海克斯康為Function Plus專業(yè)打造的IDC-II控制系統(tǒng)，21項誤差空間修正技術(shù)和自動調(diào)諧功能，保證了大型機器的動態(tài)性能和測量精度
  測量機三軸都配置溫度傳感器，實時監(jiān)控溫度變化，自動補償由于溫度變化而引起的誤差
   軟件為業(yè)界*的PC-DMIS BASIC （/PC-DMIS PREMIUM），功能強大，易學高效

機器型號	Function Plus 10158	Function Plus 10218	Function Plus 10308	Function Plus 122110	Function Plus 123010	Function Plus 152110	Function Plus 153010	Function Plus 152112	Function Plus 153012
行程	1000	1000	1000	1200	1200	1500	1500	1500	1500
	1500	2100	3000	2100	3000	2100	3000	2100	3000
	800	800	800	1000	1000	1000	1000	1200	1200
外形尺寸	2726	3326	4226	3326	4226	3326	4226	3326	4226
	1780	1780	1780	1980	1980	2280	2280	2280	2280
	3422	3422	3422	3622	3622	3622	3622	3822	3822
承重	1300	1800	2000	3000	3500	3000	3500	3000	3500
機器重量	5500	6500	9500	7600	11000	8600	13000	8800	13200
MPEe（μm）	3.1 +L/300			3.5 +L/300		4 +L/300		5 +L/300
MPEp（μm）	3.3			3.7		4.2		5.2
光柵尺分辨率（μm）	0.078
空間移動速度（mm/s）	433
空間移動加速度（mm/S2）	1039
流量/供氣壓力（μm）	150 NI/min. 0.45Mp
溫度	20±2℃
濕度	45%-75%