- 測量參數(shù)：Ra、Rz、Rq、Rt
- 取樣長度：0.25mm，0.8mm，2.5mm三擋可選
- 評定長度中含有5個(gè)取樣長度（5L）
- 測量范圍Ra：0.025-12.5（µm）
- 量程范圍：160μm
- 觸針角度：90°
- 導(dǎo)頭縱向半徑：45mm
- 針尖材料：金剛石
- 針尖半徑：5μm±1μm
- 觸針測力：4mN（0.4gf）
- zui大驅(qū)動(dòng)行程：18mm/0.71inch
- 驅(qū)動(dòng)速度
測量時(shí)： 當(dāng)取樣長度= 0.25mm Vt=0.135mm/s
當(dāng)取樣長度= 0.8mm Vt=0.5mm/s
當(dāng)取樣長度= 2.5mm Vt=1mm/s
返回時(shí)： V=1mm/s - 示值誤差不大于±10%
- 示值變動(dòng)性不大于6%
| 15 測量范圍 | 分辨力 |
| ±20μm | 0.01μm |
| ±40μm | 0.02μm |
| ±80μm | 0.04μm |
