wyko nt9800光學(xué)輪廓儀-參數(shù)、特點(diǎn)、功能、應(yīng)用 -veeco華東總代理

wyko nt9800 光學(xué)輪廓儀在0.1nm 到 10mm 的垂直掃描范圍內(nèi)提供了非接觸式高速高精度三維表面測(cè)量工能，縱向分辨率可達(dá)0.1nm。nt9800 采用了veeco的內(nèi)部實(shí)時(shí)激光參考信號(hào)進(jìn)行持續(xù)的自校準(zhǔn)，減小了通常情況下使用標(biāo)準(zhǔn)塊校準(zhǔn)設(shè)備的需要，并且能夠補(bǔ)償工作環(huán)境下系統(tǒng)產(chǎn)生的熱漂誤差。作為業(yè)內(nèi)的第九代wyko nt系列光學(xué)輪廓儀產(chǎn)品，nt9800 具有zui高的自動(dòng)化水平，友好的用戶界面，以及業(yè)內(nèi)的wyko vision分析軟件系統(tǒng)。眾多*技術(shù)的集成、經(jīng)過*實(shí)用驗(yàn)證的測(cè)量技術(shù)核心以及適合于各種專業(yè)應(yīng)用需要的軟件功能，使 nt9800 成為世界上的光學(xué)干涉測(cè)量設(shè)備，可滿足mems、金屬研究、材料科學(xué)、半導(dǎo)體、科研器械等眾多領(lǐng)域科研和生產(chǎn)工作中對(duì)高精度自動(dòng)化表面測(cè)量的需要。

技術(shù)參數(shù)：                                              

1、縱向掃描范圍：0.1nm~1mm （標(biāo)配）
2、垂直掃描速度：25um/s
3、樣品臺(tái)尺寸：200mm

主要特點(diǎn)：

1. 非接觸測(cè)量
2. 重復(fù)性高
3. 測(cè)量精度高