dektak xt 臺階儀 光學輪廓儀 華東總代理

第十代dektakxt臺階儀（探針式表面輪廓儀）
布魯克 dektakxt 臺階儀（探針式表面輪廓儀）是一項創(chuàng)新性的設計，可以提供的重現(xiàn)性，重現(xiàn)性低于5?。臺階儀這項性能的提高達到了過去四十年dektak技術創(chuàng)新的，更加鞏固了其行業(yè)地位。通過整合其行業(yè)產品，dektakxt實現(xiàn)了zui高性能。操作簡易，從研發(fā)到質量控制都有更好的過程控制。整合了技術突破到第十代dektak臺階儀能夠在微電子，半導體，太陽能、超高亮度發(fā)光二極管（led）、醫(yī)學、材料科學等行業(yè)實現(xiàn)納米級表面形貌測量。

dektakxt
specifications規(guī)格
測量技術 探針輪廓技術
測量功能 二維表面輪廓測量
可選三維測量/
樣品視景 可選放大倍率, 1 to 4mm fov
探針傳感器 低慣量傳感器 （lis 3）
探針壓力 使用lis 3傳感器：1 至 15mg
低作用力（選配） 使用n-lite+低作用力傳感器：0.03至 15mg
探針選項 探針曲率半徑可選范圍： 50nm至25μm
高徑比 （har）針尖：10μm x 2μm和200μm x 20μm;
可按客戶要求定制針尖
樣品x/y載物臺 手動 x-y 平移：100mm （4 英寸）
機動x-y 平移：150mm （6 英寸）
樣品旋轉臺 手動，360°旋轉;
機動：360°旋轉;
計算機系統(tǒng) 64-bit 多核并行處理器, windows? 7.0; optional 23英寸平板顯示器
軟件 vision64操作及分析軟件；
應力測量軟件；懸臂偏轉；
縫合軟件；三維掃描成像軟件
減震裝置 減震裝置可用
掃描長度范圍 55mm （2英寸）
每次掃描數(shù)據(jù)點 zui多可達120,000數(shù)據(jù)點
zui大樣品厚度 50mm （2英寸） zui大晶圓尺寸 200mm （8英寸）
臺階高度重現(xiàn)性 <5?, 1σ在1μm臺階上
垂直范圍 1mm （0.039英寸）
垂直分辨率 zui大1? （ 6.55μm垂直范圍下） 輸入電壓 100 – 240 vac, 50 – 60hz
溫度范圍 運行范圍20 到 25°c （68到77°f）
濕度范圍 ≤ 80%, 無冷凝
系統(tǒng)尺寸及重量 455mm w x 550mm d x 370mm h （17.9in. w x 22.6in. d x 14.5in. h）; 34公斤（75磅）;
附件：550mm l x 585mm w x 445mm h （21.6in. l x 23in. w x 17.5in. h）; 21.7公斤（48磅）