主要技術(shù)指標(biāo)
質(zhì)量流量控制器(流量計(jì))出廠通常用氮?dú)猓∟2）標(biāo)定。
質(zhì)量流量的單位規(guī)定為: 標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài) mL/min (毫升/分鐘) (SCCM行業(yè)標(biāo)準(zhǔn))
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)L/min （升/分鐘） (SLM行業(yè)標(biāo)準(zhǔn))
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為:溫度 --- 0℃
氣壓 — 101325 Pa
F.S (Full Scale):表示滿量程值
表1 S49 33M/MT型質(zhì)量流量控制器(流量計(jì))技術(shù)指標(biāo)
編號(hào) | 項(xiàng)目 | S49 33/MT | ||
1 | 流量規(guī)格 | (5,10,30,50,100,200,300,500)mL/min (1,2,3,5,10) L/min | (15,20,30) L/min | |
2 | 調(diào)節(jié)閥類型 | 電磁調(diào)節(jié)閥 | ||
3 | 調(diào)節(jié)閥靜止位置 | 常閉 | ||
4 | 準(zhǔn)確度 | ± 1.0% F.S | ± 2.0% F.S | |
5 | 線性 | ±1.0 % F.S，±2.0 % F.S | ||
6 | 重復(fù)精度 | ±0.2 %F.S | ||
7 | 響應(yīng)時(shí)間 | ≤8 s（T95） | ||
8 | 工作壓差范圍 | (50 ～ 300) kPa； (10～30)L/min (100～300)kPa | ||
9 | 耐壓 | 3 MPa ﹑ 10 MPa | ||
10 | 工作環(huán)境溫度 | 5℃ ～ 45℃ | ||
11 | 材料 | 不銹鋼316L | ||
12 | 標(biāo)準(zhǔn)密封材料 | Viton®﹑EPDM, 或其他 | ||
13 | 漏率 | 1×10-8 Pa.m3/s | ||
14 | 接頭 | Ф3mm～Ф10mm, 1/4″Swagelok(或VCR)， 軟管接頭Ф4mm～Ф10mm 或其它 | ||
15 | 輸入輸出信號(hào) | 0 V ～ +5.00 V (輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA) | ||
16 | 電源 | +15 V 50 mA -15V 200 mA | ||
17 | 外形尺寸 mm | 134×134×38 | ||
18 | 重量 kg | 1.2 | ||
注意： S49系列質(zhì)量流量控制器(流量計(jì))分不同的流量范圍，供用戶選擇，也可根據(jù)用戶提出流量定制。
