本系列硅片拋光機由四個吸附盤吸附硅片與拋光盤做逆時針旋轉來達到拋光的目的。
鐵氧體平面研磨機特點：
1.本系列拋光機的吸附盤由四臺單獨的電機驅動、速度與壓力可調。
2.控制系統(tǒng)中采用PLC彩色終端等*技術，系統(tǒng)的響應速度更快、更精確，并具有遠程監(jiān)控，遠程維護的功能；
3.本系列拋光機運行平穩(wěn)，拋光后的產品厚度公差可控制在正負0.002mm范圍內，粗糙度可達到0.0005mm。
鐵氧體平面研磨機設備規(guī)格：
| 型號 | YM-18A | YM-24A | YM-36A | YM-48A |
| 拋光盤規(guī)格 | φ460*φ140 | φ610*φ200 | φ910*φ300 | φ1220*φ400 |
| zui大拋光尺寸 | φ150mm | φ200mm | φ300mm | φ450mm |
| 拋光后平面度 | ±0.5u以內 | ±0.7u以內 | ±1u以內 | ±1u以內 |
| 工件平行度（25mm） | ±1u以內 | ±1.5u以內 | ±2u以內 | ±2u以內 |
| 工件粗糙度 | 0.4nm以內 | 0.4nm以內 | 0.4nm以內 | 0.4nm以內 |
| 拋光盤電機功率 | 2.2kw 3相380V | 3.7kw 3相380V | 7.7kw 3相380V | 11kw 3相380V |
| 拋光盤轉速 | 0~120rpm | 0~100rpm | 0~80rpm | 0~60rpm |
| 外形尺寸 | 700*1100*1100mm | 950*1200*2200mm | 1200*1400*2300mm | 1500*1700*2400mm |
| 重量 | 960kg | 1800kg | 2600kg | 4500kg |
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