序號 | 名稱 | 技術參數 |
1 | 電容檢測精度 | ±0.01pF |
2 | 檢測取樣頻率 | 40次/每秒 |
3 | 檢測取樣面積 | Φ5mm |
4 | 隨動控制精度 | ±0.1mm |
5 | zui大行程 | 120mm |
6 | 控制系統(tǒng) | 自主開發(fā) |
7 | 升降電機 | 高性能步進電機 |
8 | 控制器工作溫度 | -10~60℃ |
9 | 探頭組件工作溫度 | -10~250℃ |
10 | 水冷/氣體管徑 | Φ6mm |
11 | 離焦量調節(jié)范圍 | 1.0mm~4.0mm |
12 | 供電電壓 | AC220V±10%, 50Hz/60Hz |