偏擺檢查儀詳細介紹
規(guī)格 | 中心高 | 測量直徑 | 精度 | |
平行方向μm | 垂直方向μm | |||
300 | 170 | 270 | ≤8 | ≤5 |
300 | 250 | 460 | ≤8 | ≤5 |
500 | 170 | 270 | ≤8 | ≤5 |
500 | 250 | 460 | ≤8 | ≤5 |
1000 | 170 | 270 | ≤10 | ≤8 |
1000 | 250 | 460 | ≤10 | ≤8 |
2000 | 230 | 400 | ≤30 | ≤20 |