1.離子注入用石墨,細(xì)顆粒高密度的石墨呈現(xiàn)出很強(qiáng)的抗腐蝕性,即使是在極其惡劣的工況下(如離子束轟擊或等離子體束)也是如此。
2.由于離子束的原因,金屬部件暴露在離子注入設(shè)備中會造成高的損耗,故這時(shí)應(yīng)用相應(yīng)的石墨件來作屏蔽罩。
3.我司采用德國西格里石墨,不僅能為各種離子注入機(jī)提供石墨屏蔽罩,且提供各種規(guī)格具有高耐腐蝕性的高純度石墨電極及離子源。
4.即使在離子轟擊或等離子等極限工作條件下,細(xì)粒、高密度石墨也不易受腐蝕。離子轟擊設(shè)備的金屬部件要接觸離子束,磨損嚴(yán)重,可使用合適的石墨擋板進(jìn)行保護(hù)。
我司不僅提供石墨擋板,還提供適用于各種注入機(jī)的電極和離子源,這些石墨產(chǎn)品都具有耐腐蝕和純度高的優(yōu)點(diǎn)。