壓電馬達(dá)控制器是直線(xiàn)壓電馬達(dá),內(nèi)部采用 PZT 壓電式驅(qū)動(dòng),直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)行程可選6、10、 25、50、100mm,可達(dá)亞納米級(jí)分辨率。可選配閉環(huán)伺服傳感器(增量式編碼器),具有更高的定位精度。可選移動(dòng)臺(tái)面。
高精度直線(xiàn)壓電馬達(dá)系列
● 直線(xiàn)測(cè)量有效長(zhǎng)度的變化范圍為25毫米至105 毫米
● 重達(dá)5KG負(fù)載的納米級(jí)精度定位
應(yīng)用領(lǐng)域
■ 有源減振器
■ 工業(yè)級(jí)精度定位
■ 半導(dǎo)體技術(shù)
■ 半導(dǎo)體測(cè)試
■ 晶圓檢測(cè)
■ 平版印刷術(shù)
■ 納米壓印
■ 納米測(cè)量
■ 強(qiáng)磁場(chǎng)和真空中運(yùn)動(dòng)