二維壓電納米定位臺采用機構(gòu)放大設(shè)計原理,柔性鉸鏈連接支撐傳動,內(nèi)部采用高可靠性壓電陶瓷驅(qū)動,實現(xiàn)X,Y軸200μm的位移,可以配置閉環(huán)傳感實現(xiàn)高精度掃描與定位。適用于光學(xué)掃描。平臺可以通過疊加轉(zhuǎn)接的方式實現(xiàn)二維、三維運動。
產(chǎn)品特性:
◆ 高速響應(yīng);
◆ 壓電陶瓷驅(qū)動;
◆ 重復(fù)定位精度高;
◆ 納米級位移分辨率;
◆ 機體材料分鋁合金和鈦合金;
◆ 具有開環(huán)和閉環(huán)兩種;
◆ 采用數(shù)控、線切割等加工工藝。嚴格保證結(jié)構(gòu)精度;
◆ 采用計算機有限元仿真分析等現(xiàn)代設(shè)計方案設(shè)計微動結(jié)構(gòu);
◆ 采用表面處理工藝,提高了適應(yīng)工作環(huán)境的能力。