油式旋片真空泵的工作原理基于旋片的設(shè)計，使得旋片在轉(zhuǎn)子槽內(nèi)滑動并與泵腔內(nèi)壁始終保持接觸，將泵腔分成幾個可變?nèi)莘e的工作室。轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時，與吸氣口相通的空間容積逐漸增大，形成低壓區(qū)域，使氣體被吸入。與此同時，與排氣口相通的空間容積逐漸減小，使吸入的氣體被壓縮，當氣體壓力超過排氣壓力時，通過排氣閥排出。這種連續(xù)的運動過程實現(xiàn)了連續(xù)抽氣。

油式旋片真空泵通常采用油封式設(shè)計，排氣閥浸在油里，油通過排氣閥和油孔進入泵腔，使泵腔內(nèi)所有運動件的表面覆蓋一層油膜，密封住吸氣腔與排氣腔間的間隙，防止氣體返流。這層油膜還能減少排氣腔內(nèi)的有害空間，以消除它們對極限壓力的影響。因此，這種真空泵是一種油封式機械真空泵。