四探針電阻率測試儀四探針電阻率測試儀
覆蓋膜;導電高分子膜,高、低溫電熱膜;隔熱、導電窗膜 導電(屏蔽)布、裝飾膜、裝飾紙;金屬化標簽、合金類箔膜;熔煉、燒結、濺射、涂覆、涂布層,電阻式、電容式觸屏薄膜;電極涂料,其他半導體材料、薄膜材料方阻測試采用四探針組合雙電測量方法,液晶顯示,自動測量,自動量程,自動系數(shù)補償.高集成電路系統(tǒng)、恒流輸出;選配:PC軟件進行數(shù)據(jù)管理和處理.
雙電測數(shù)字式四探針測試儀是運用直線或方形四探針雙位測量。該儀器設計符合單晶硅物理測試方法標準并參考美國A.S.T.M標準。利用電流探針、電壓探針的變換,進行兩次電測量,對數(shù)據(jù)進行雙電測分析,解決樣品幾何尺寸、邊界效應以及探針不等距和機械游移等因素對測量結果的影響.
采用四探針組合雙電測量方法,液晶顯示,自動測量,自動量程,自動系數(shù)補償.高集成電路系統(tǒng)、恒流輸出;選配:PC軟件進行數(shù)據(jù)管理和處理.
雙電測數(shù)字式四探針測試儀是運用直線或方形四探針雙位測量。該儀器設計符合單晶硅物理測試方法標準并參考美國A.S.T.M標準。利用電流探針、電壓探針的變換,進行兩次電測量,對數(shù)據(jù)進行雙電測分析,解決樣品幾何尺寸、邊界效應以及探針不等距和機械游移等因素對測量結果的影響.
概述:采用四端測量法適用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門,實驗室;是檢驗和分析導體材料和半導體材料質量的工具。可配置不同測量裝置測試不同類型材料之電阻率。液晶顯示,溫度補償功能,自動量程,自動測量電阻,電阻率,電導率數(shù)據(jù)。恒流源輸出;選配:PC軟件過程數(shù)據(jù)處理和標準電阻校準儀器,薄膜按鍵操作簡單,中文或英文兩種語言界面選擇,電位差計和電流計或數(shù)字電壓表,量程為1mVˉ100mV,分辨率為0.1%,直流輸入阻抗不小250μm的半球形或半徑為50 μm~125 μm的平的圓截面。探針(帶有彈簧及外引線)之間或探針系統(tǒng)其他部分之間的絕緣電照至少為10°Ω.探針排列和間距,四探針應以等距離直線排列,探針閥距及針突狀況應符合GB/T 552 中的規(guī)定。R=1(R +R, )…………………………(3)R2=與(R; +R,)計算試樣平均直徑D與平均操針間距S之比,由表3中查出修正因子F,也可以見GB/T11073中規(guī)定的幾何修正因子。 9.4計算幾何修正因子F,見式(4)。對于薄層厚度小于3μm的試樣,選用針尖半徑為100μm250μm的半球形探針或針尖率徑為50μm~125 pm平頭探針,針尖與試樣間壓力為0.3 Nˉ0.8Ni對于薄層厚度不小于3μ的試樣,選用針尖半徑為35μm100 pm 半球形操針,針尖與試樣間壓力不大于 0.3 N.Rr=V; R,/V=V/I,…… … R,=V,R,/V_=V,/I,-雙刀雙撐電位選擇開關。.定。歐嬌表,能指示阻值高達10°日的漏電阻,溫度針0℃-40℃,小刻度為0.1℃。光照、高頻、需動、強電磁場及溫醒度等測試環(huán)境會影響測試結果,甲醇、99.5%,干燥氮氣。測量儀器探針系統(tǒng)操針為具有45"~150°角的圓罐形破化鴨振針,針實半徑分別為35μm~100μm.100 μm…… … ………(5)電壓表輸入阻抗會引入測試誤差,硅片幾何形狀,表面粘污等會影響測試結果,R(TD-R_xF式中:計算每一測量位置的平均電阻R.,見式(3).試劑優(yōu)級純,純水,25℃時電阻率大于2MN.cm,s=號(二[R,(TD-瓦(7D羽yt ..計算每一測量位置在所測溫度時的薄層電阻(可根據(jù)薄層電阻計算出對應的電阻率并修正到23℃,具體見表4)見式(5).用干凈涂題顆子或吸筆將試樣置于樣品臺上,試樣放置的時間應足夠長,到達熱平衡時,試樣溫度為23 ℃±1℃.接通電流,令其任一方向為正向,調節(jié)電流大小見表1測量范圍電阻率:1×10-4~2×105 Ω-cm,分辨率:1×10-5~1×102 Ω-cm方 阻:5×10-4~2×105 Ω/□,分辨率:5×10-5~1×102 Ω/□電 阻:1×10-5~2×105 Ω ,分辨率:1×10-6~1×102 Ω 材料尺寸(由選配測試臺決定和測試方式?jīng)Q定)直 徑:A圓測試臺直接測試方式 Φ15~130mm, 方測試臺直接測試方式180mm×180mm, 長(高)度:測試臺直接測試方式 H≤100mm, 測量方位: 軸向、徑向均可
4-1/2 位數(shù)字電壓表:
(1)量程: 20.00mV~2000mV
(2)誤差:±0.1%讀數(shù)±2 字
數(shù)控恒流源
(1)量程:0.1μA,1μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100mA,1A
(2)誤差:±0.1%讀數(shù)±2 字
所給出的某一合適值,測量并記錄所得數(shù)據(jù),所有測試數(shù)據(jù)至少應取三位有效數(shù)字。改變電流方向,測量、記錄數(shù)據(jù)。關斷電流,搶起探針裝置,對仲裁測量,探針間距為1.59