四探針方阻電阻率測試儀四探針方阻電阻率測試儀
本儀器本儀器采用四探針雙電測量方法，適用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門，是檢驗和分析導體材料和半導體材料質量的一種重要的工具。本儀器配置各類測量裝置可以測試不同材料。液晶顯示，無需人工計算，并帶有溫度補償功能，電阻率單位自動選擇，儀器自動測量并根據(jù)測試結果自動轉換量程，無需人工多次和重復設置。采用高精度AD芯片控制，恒流輸出，結構合理、質量輕便，運輸安全、使用方便；選配：配備軟件可以由電腦操控，并保存和打印數(shù)據(jù)，自動生成報表；本儀器采用4.3吋大液晶屏幕顯示，同時顯示液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導率，壓強 配置不同的測試治具可以滿足不同材料的測試要求。測試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測試項目要求選購.
雙電測數(shù)字式四探針測試儀是運用直線或方形四探針雙位測量。
標準要求：
該儀器設計符合單晶硅物理測試方法標準并參考美國 A.S.T.M 標準。利用電流探針、電壓探針的變換，進行兩次電測量，對數(shù)據(jù)進行雙電測分析，自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應以及探針不等距和機械游移等因素對測量結果的影響，它與單電測直線或方形四探針相比，大大提高精確度，特別是適用于斜置式四探針對于微區(qū)的測試。
技術參數(shù)及功能介紹
規(guī)格型號 | BCD-310 |
1.方塊電阻范圍 | 10-5～2×105Ω/□ |
2.電阻率范圍 | 10-6～2×106Ω-cm |
3.測試電流范圍 | 0.1μA,1μA,10μA，100µA，1mA，10mA，100 mA |
4.電流精度 | ±0.1%讀數(shù) |
5.電阻精度 | ≤0.3% |
6.顯示讀數(shù) | 大屏液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導率 |
7.測試方式 | 雙電測量 |
8.工作電源 | 輸入: AC 220V±10% ,50Hz 功 耗：<30W |
9.整機不確定性誤差 | ≤3%（標準樣片結果） |
10.選購功能 | 選購1.pc軟件； 選購2.方形探頭； 選購3.直線形探頭； 選購4.測試平臺 |
1.雙電測四探針法測試薄層樣品方阻計算和測試原理如下：
直線四探針測試布局如圖8，相鄰針距分別為S1、S2、S3,根據(jù)物理基礎和電學原理：
當電流通過1、4探針，2、3探針測試電壓時計算如下：
四探針測試結構
當電流通過1、2探針，4、3探針測試電壓時計算如下：從以上計算公式可以看出：方阻RS只取決于R1和R2，與探針間距無關．針距相等與否對RS的結果無任何影響，本公司所生產(chǎn)之探針頭全部采用等距，偏差微小，對測試結果更加精準。
