TJ4寸單晶硅雙拋晶圓異形切割超薄硅片微結(jié)構(gòu)加工
硅片激光切割設(shè)備的特點(diǎn):
·高配置:采用進(jìn)口光纖激光器,光束質(zhì)量更好(標(biāo)準(zhǔn)基模)、切縫更細(xì)(30μm)、邊緣更平整光滑。
·免維護(hù):整機(jī)采用國際標(biāo)準(zhǔn)模塊化設(shè)計(jì),真正免維護(hù)、不間斷連續(xù)運(yùn)行、無消耗性易損件更換。
·操作方便:設(shè)備集成風(fēng)冷設(shè)置,設(shè)備體積更小,操作更簡單。
·專用控制軟件:專為激光劃片機(jī)而設(shè)計(jì)的控制軟件,操作簡單,能實(shí)時(shí)顯示劃片路徑。
·工作效率高:T型臺(tái)雙工位交替運(yùn)行,提高工作效率。
激光切割于傳統(tǒng)機(jī)械切割硅片相比,是一種行的加工方式,有一下幾點(diǎn)加工優(yōu)勢:
1、激光加工一步即可完成的、干燥對(duì)的加工過程。
2、邊緣光滑整齊,不需要后續(xù)的清潔和打磨。
3、激光加工的分離過程產(chǎn)生高強(qiáng)度、自然回火的邊緣,沒有微小裂痕。使用激光加工避免了不可預(yù)料的裂痕和殘破,提高了成品率。
梁工