SMC chiller溫控器冰水機(jī)HRS090維修服務(wù)
半導(dǎo)體專用溫控裝置(Chiller)主要用于半導(dǎo)體制程中對反應(yīng)腔室溫度的精準(zhǔn)控制,主要由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機(jī)和控制系統(tǒng)構(gòu)成的一個自我平衡的循環(huán)裝置,屬于生產(chǎn)過程中的溫控設(shè)備。在常規(guī)PID控制算法的基礎(chǔ)上加入了預(yù)測控制技術(shù)和自適應(yīng)控制技術(shù),并采用變頻控制及兩級閉環(huán)節(jié)能控制,顯著地提高了Chiller的穩(wěn)定性、控制精度和響應(yīng)速度。
SMC chiller溫控器冰水機(jī)HRS090維修服務(wù)
應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)蝕刻裝置,CMP(工藝機(jī)械拋光), 實驗室精密裝置、 高精度測試儀器、醫(yī)美設(shè)備、固態(tài)激光器、模具溫控等。
變頻控制,智能PID控制
預(yù)測控制及自適應(yīng)控制
模塊化功能定制,高效節(jié)能
兩級閉環(huán)節(jié)能控制
SMC chiller溫控器冰水機(jī)HRS090維修服務(wù) 應(yīng)用領(lǐng)域
激光加工、印刷設(shè)備、清潔設(shè)備、焊接設(shè)備、高分析儀、LCD制造設(shè)備、模具溫調(diào)、高頻感應(yīng)加熱設(shè)備、X射線(數(shù)字式)設(shè)備等
zonglen半導(dǎo)體器件高低溫測試設(shè)備chiller
溫度范圍:-20°C~+90°C
控溫精度:±0.1℃
觸摸屏操作,人機(jī)交互界面
連鎖控制、可靠性高
定時運轉(zhuǎn)、液面降低、停電復(fù)位、防凍功能
溫度波動小