NBK MOHS-C 無塵真空十字滑塊聯(lián)軸器
NBK MOHS-C 無塵真空十字滑塊聯(lián)軸器
無塵、真空、耐熱型聯(lián)軸器 - 十字滑塊型（Vespel） - 夾緊型
Oldham-type Flexible Coupling - VESPEL
MOHS-C
形狀図
材質(zhì)、表面處理
| MOHS-C | |
|---|---|
| 軸套 | SUS303 |
| 間隔體 | Vespel＊1 |
| 內(nèi)六角圓柱頭螺栓 | SUSXM7 二硫化鉬涂層 |
＊1： VESPEL是杜邦公司的注冊商標(biāo)。
顏色可能會因批次等而變化。
特點(diǎn)
特性
| MOHS-C | |
|---|---|
| 低塵 | △ |
| 適用于真空環(huán)境 | ◎ |
| 低排氣 | ○ |
| 耐熱 | ◎ |
| 耐藥性 | ○ |
| 容許誤差調(diào)整 | ◎ |
| 電絕緣性 | ◎ |
| 無塵 | ◎ |
| 可使用溫度 | -20℃～200℃ |
十字滑塊型撓性聯(lián)軸器。
已完成無塵洗凈、無塵包裝。可在FPD生產(chǎn)設(shè)備等需要的耐熱、耐藥品性環(huán)境或無塵室中使用。
間隔體采用Vespel SCP-5000。
耐熱性、耐藥品性優(yōu)異，高溫下的排氣量極少。通過軸套與間隔體的滑移，允許有偏心、偏角存在。
因誤差調(diào)整量而產(chǎn)生的軸載荷變小，減輕了軸的負(fù)擔(dān)。
用途
FPD生產(chǎn)設(shè)備/半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備使用注意事項(xiàng)
安裝到D型切口軸時，請注意軸的D型切口面的位置。
備有內(nèi)六角螺栓可從聯(lián)軸器的外徑伸出、旋轉(zhuǎn)直徑大于外徑的規(guī)格。請注意聯(lián)軸器的干渉。
排氣的分析
單位 : （v/v ppm）
| 成分 | 含量 | |
|---|---|---|
| 無機(jī)氣體 | 氫 | 500以下 |
| 一氧化碳 | 500以下 | |
| 二氧化碳 | 500以下 | |
| 有機(jī)氣體 | 甲烷 | 5以下 |
| 乙烷 | 5以下 | |
| 乙烯 | 5以下 | |
| 丙烷 | 5以下 | |
| 乙炔 | 5以下 | |
| i-丁烷 | 5以下 | |
| n-丁烷 | 5以下 | |
| 丙烯 | 5以下 | |
無機(jī)氣體、有機(jī)氣體均在定量下限以下，無法檢測。
測量方法
無機(jī)氣體----氣相色譜法（TCD）
有機(jī)氣體----氣相色譜法（FID）測量條件
加熱溫度----100℃
型號列表
MOHS-19C
MOHS-19C-5-5
MOHS-19C-5-6
MOHS-19C-5-8
MOHS-19C-6-6
MOHS-19C-6-8
MOHS-19C-8-8
MOHS-26C
MOHS-26C-8-8
MOHS-26C-8-10
MOHS-26C-10-10
MOHS-32C
MOHS-32C-8-8
MOHS-32C-8-10
MOHS-32C-8-11
MOHS-32C-8-12
MOHS-32C-8-14
MOHS-32C-10-10
MOHS-32C-10-11
MOHS-32C-10-12
MOHS-32C-10-14
MOHS-32C-11-11
MOHS-32C-11-12
MOHS-32C-11-14
MOHS-32C-12-12
MOHS-32C-12-14
MOHS-32C-14-14
