1-8-1，
4-566，
8-70-2。
RBZ-SG系列精密Z軸應用領(lǐng)域
RBZ-SG系列是一款長行程的精密平升Z軸，具有納米級微動步距，高動態(tài)性能，結(jié)構(gòu)緊湊，用于晶圓加工及檢測、飛秒激光加工、測試測量、生物工程等高精度行業(yè)。
RBZ-SG系列精密Z軸結(jié)構(gòu)特點
直驅(qū)結(jié)構(gòu)，承載能力大，在一個長行程的移動范圍，保持盡可能低的高度，優(yōu)化阿貝誤差影響，有助于提高整體精度性能。抗蠕變交叉滾柱導軌垂直導向，為提升直線度、Pitch Roll Yaw指標提供創(chuàng)新解決方案。
直驅(qū)結(jié)構(gòu)
力矩電機作為直驅(qū)方式，沒有皮帶、齒輪、蝸輪蝸桿和彈性聯(lián)軸器中間傳動環(huán)節(jié)，RBZ-SG平升Z軸直接托舉負載運動，相對側(cè)升結(jié)構(gòu)Z軸，無需轉(zhuǎn)接板，負載重心布置在Z軸中心，有利于運行過程減小俯仰和偏擺的影響。
光柵閉環(huán)反饋
RBZ-SG平升Z軸為雙閉環(huán)反饋，直線光柵和圓光柵相結(jié)合的雙反饋方式，直接測量工件移動時的誤差，提高了精度性能。
規(guī)格指標
單位 | RBZ-20SG | RBZ-35SG | RBZ-50SG | ||
行程 | mm | 20 | 35 | 50 | |
補償后定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.1 | ±0.15 | ±0.15 |
標準值 | ±1 | ±1 | ±1 | ||
雙向重復定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.05 | ±0.075 | ±0.075 |
標準值 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 | ||
直線度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.5 | ±0.5 | ±0.75 |
標準值 | ±3 | ±4 | ±5 | ||
Pitch Roll (2) | Plus (1) | arc sec | ±2.5 | ±2.5 | ±3.5 |
標準值 | ±5 | ±5 | ±7 | ||
Yaw (2) | Plus (1) | arc sec | ±2 | ±2 | ±3 |
標準值 | ±5 | ±5 | ±7 | ||
電子分辨率 (3) | nm | 0.3 或 5（選配） | |||
速度 (空載) (4) | mm/s | 10 | 10 | 20 | |
負載 | kg | 20 | 40 | 60 | |
注：
以上為單軸精度指標，在潔凈間內(nèi)測試，溫度20℃±1℃，濕度40%~60%RH，振動等級VC-E，測試點在負載板上25mm處，測試速度5mm/s，Renishaw激光干涉儀測量及自帶分析方法，多軸系統(tǒng)的精度測試與負載尺寸及測試點高度有關(guān)，環(huán)境的變化會導致精度變化，如要求非標準測試，請咨詢我們。
1. Plus值為高精度指標，是標準值的升級版。
2. 取決于平臺安裝表面的平面度。
3. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細分倍數(shù)。
4. 空載條件下的指標，速度取決于負載大小。
