王欣悅1-8-1，
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RBN-XY系列雙軸精密運動臺應(yīng)用領(lǐng)域
RBN-XY系列是一款高精度的雙軸精密運動臺，具有納米級微動步距，亞微米級重復(fù)定位精度，高動態(tài)性能，結(jié)構(gòu)緊湊，用于飛秒激光加工、光學(xué)制造及檢測、測試測量、半導(dǎo)體、光纖對準和科研等領(lǐng)域。
RBN-XY系列雙軸精密運動臺結(jié)構(gòu)特點
三片式疊層結(jié)構(gòu)設(shè)計，有效地降低工作點的高度，減小阿貝誤差對系統(tǒng)精度的影響。直線電機驅(qū)動，具有零齒槽、高動態(tài)性能及電流噪聲小等特點。運動臺在低速運動時保持平穩(wěn)，在高速狀態(tài)不會產(chǎn)生振動。抗蠕動交叉滾柱直線導(dǎo)軌，滾柱間線線接觸，運動平穩(wěn)，交叉排列，多方向受力穩(wěn)定。
精度性能
非接觸式光柵尺閉環(huán)反饋，通過結(jié)構(gòu)設(shè)計、材料選擇、加工工藝、裝配方法等綜合把控，獲得高精度指標，定位精度±0.1μm，雙向重復(fù)定位精度±50nm，直線度和平面度±0.5μm，是高精度場所的理想選擇。
微動步距
對有微動步距（最小位移量）要求的應(yīng)用領(lǐng)域，如最小步距運動、對準應(yīng)用等，微動步距≤2nm，對現(xiàn)場使用環(huán)境的要求，更多細節(jié)可聯(lián)系瑞邦精控。
定制化
可定制高真空環(huán)境下的版本，真空度10^-7Torr；定制加速度，多軸結(jié)構(gòu)等；根據(jù)應(yīng)用可配置大理石基座、支撐鋼架、隔振臺等整套運動控制方案。
規(guī)格指標
單位 | RBN-50XY | RBN-110XY | RBN-150XY | ||
行程 | mm | 50 x 50 | 110 x 110 | 150 x 150 | |
補償后定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 |
標準值 | ±0.25 | ±0.3 | ±0.3 | ||
雙向重復(fù)定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.025 | ±0.05 | ±0.05 |
標準值 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | ||
直線度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.25 | ±0.5 | ±0.5 |
標準值 | ±1 | ±1 | ±1.5 | ||
平面度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 |
標準值 | ±1 | ±1 | ±1.5 | ||
Pitch Roll (2) | Plus (1) | arc sec | ±2.5 | ±3 | ±3 |
標準值 | ±5 | ±5 | ±5 | ||
Yaw (2) | Plus (1) | arc sec | ±1 | ±1 | ±1 |
標準值 | ±2.5 | ±2.5 | ±2.5 | ||
電子分辨率 (3) | nm | 0.3 或 5（選配） | |||
速度 (空載) (4) | mm/s | 200 | |||
加速度 (空載) (4) | m/s2 | 1,（5 定制） | |||
負載 | kg | 20 | |||
注：
以上為單軸精度指標，在潔凈間內(nèi)測試，溫度20℃±1℃，濕度40%~60%RH，振動等級VC-E，測試點在負載板上25mm處，測試速度10mm/s，Renishaw激光干涉儀測量及自帶分析方法，多軸系統(tǒng)的精度測試與負載尺寸及測試點高度有關(guān)，環(huán)境的變化會導(dǎo)致精度變化，如要求非標準測試，請咨詢我們。
1. Plus值為高精度指標，是標準值的升級版。
2. 取決于平臺安裝表面的平面度。
3. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細分倍數(shù)。
4. 空載條件下的精度指標，速度和加速度取決于負載大小。
