QFL-XY系列雙軸氣浮運動臺應(yīng)用領(lǐng)域
QFL-XY系列是一款結(jié)構(gòu)緊湊的雙軸氣浮運動臺，用于飛秒激光加工，超精密加工、測試測量、高精度掃描、半導(dǎo)體及光子學等行業(yè)，由于非接觸式運動，精度高和結(jié)構(gòu)緊湊是行業(yè)內(nèi)的理想選擇。
QFL-XY系列雙軸氣浮運動臺結(jié)構(gòu)特點
雙軸氣浮運動臺采用開式氣浮導(dǎo)軌，直線電機和光柵尺組成，永磁預(yù)載結(jié)構(gòu)，XY軸疊層具有體積小，精度高、工作點低等特點，能有效降低阿貝誤差。X軸比Y軸寬，作為底軸，整體性能更穩(wěn)定。非接觸式氣浮結(jié)構(gòu)，免維護運行，隨著時間推移，不會出現(xiàn)磨損或性能下降。
精度性能
QFL-XY軸雙軸氣浮運動臺的定位精度±0.1μm，雙向重復(fù)定位精度±50nm，直線度±0.1μm，平面度±0.15μm，Pitch Yaw ±0.5arc sec，以上為全行程精度指標，由于非接觸式運動結(jié)構(gòu)，氣浮運動臺的跟隨誤差有了質(zhì)地提升，精度性能得到顯著提高。
線纜管理
使用高質(zhì)量的高柔排線和氣管，線管彎曲半徑產(chǎn)生的擾動力影響可忽略不計，運動中線纜和氣管不影響氣浮運動臺的性能。此外，可提供帶屏蔽高柔線纜，提供系統(tǒng)抗干擾能力。
定制化
根據(jù)應(yīng)用，結(jié)構(gòu)可定制化設(shè)計，如增加平升或楔形Z軸，轉(zhuǎn)臺等。可配置大理石基座、立柱及橫梁，XY軸安裝到大理石基座上，Z軸安裝橋架上。可選配主動隔振系統(tǒng)，適合高抖動的應(yīng)用領(lǐng)域。
規(guī)格指標
型號 | 單位 | QFL-50XY | QFL-100XY | QFL-150XY | ||||
軸系 | — | X | Y | X | Y | X | Y | |
行程 | mm | 50 | 50 | 100 | 100 | 150 | 150 | |
補償后定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | |||
標準值 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.2 | |||||
雙向重復(fù)定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.05 | ±0.05 | ±0.05 | |||
標準值 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | |||||
直線度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.05 | ±0.05 | ±0.1 | |||
標準值 | ±0.25 | ±0.25 | ±0.4 | |||||
平面度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.1 | ±0.1 | ±0.15 | |||
標準值 | ±0.35 | ±0.4 | ±0.5 | |||||
Pitch Roll Yaw (2) | Plus (1) | arc sec | ±0.35 | ±0.4 | ±0.5 | |||
標準值 | ±1 | ±1 | ±1.5 | |||||
正交性 | Plus (1) | arc sec | 5 | 2 | 2 | |||
標準值 | 10 | 5 | 5 | |||||
電子分辨率 (3) | nm | 0.3 或 5（選配） | ||||||
速度 (空載) (4) | mm/s | 200 | ||||||
加速度 (空載) (4) | m/s2 | 1,（5 定制） | ||||||
負載 | kg | 10 | ||||||
供氣壓力 (5) | MPa | 0.5±0.05 | ||||||
注：
以上為單軸精度指標，在潔凈間內(nèi)測試，溫度20℃±0.5℃，濕度40%~60%RH，振動等級VC-F，測試點在負載板上25mm處，測試速度10mm/s，Renishaw激光干涉儀測量及自帶分析方法，多軸系統(tǒng)精度測試與負載尺寸及測試點高度有關(guān)，環(huán)境的變化會導(dǎo)致精度變化，如要求非標準測試，請咨詢我們。
1. Plus值為高精度指標，是標準值的升級版。
2. 取決于平臺安裝表面的平面度。
3. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細分倍數(shù)。
4. 空載條件下指標，速度和加速度取決于負載大小。
5. 為保護氣浮導(dǎo)軌不建議加裝壓力保護開關(guān)。壓縮空氣必須是清潔的（過濾至0.25μm或更佳，ISO8573-1），無水（壓力露點-20℃，ISO8573-1級別3）及無油（ISO8573-1級別1）。
