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QFHDS系列平面式氣浮運動臺應(yīng)用領(lǐng)域
采用有限元分析優(yōu)化的氣浮軸承補(bǔ)償設(shè)計技術(shù)，提高精度的同時，也提高動態(tài)性能，用于晶圓加工及檢測、大尺寸飛秒激光加工、測試測量等行業(yè)。
QFHDS系列平面式氣浮運動臺結(jié)構(gòu)特點
龍門平面氣浮采用瑞邦精控技術(shù)，小孔節(jié)流和多孔氣浮相結(jié)合的方式，極大提高系統(tǒng)的剛度和穩(wěn)定性。平面式氣浮結(jié)構(gòu)，使XY軸運動結(jié)構(gòu)共面，反饋傳感器在同一個水平面，相當(dāng)于單軸運動，減小因疊層引起的阿貝誤差。此結(jié)構(gòu)具有高速響應(yīng)頻率及位置穩(wěn)定性，開發(fā)的氣浮結(jié)構(gòu)，提高了剛性和負(fù)載能力，以滿足高動態(tài)響應(yīng)的要求，可實現(xiàn)高速運動和快速的位置整定。
精度性能
采用無鐵芯直線電機(jī)驅(qū)動，交叉解耦控制算法保證雙驅(qū)軸的運動同步，氣浮導(dǎo)軌實現(xiàn)無摩擦、無振動地平滑移動，重復(fù)定位精度±50nm，直線度±0.1μm，平面度±0.2μm，Pitch Yaw ±0.5arc sec滿足超精密加工或測量，由于非接觸式結(jié)構(gòu)，伺服反饋的跟隨誤差有了質(zhì)地提升，定位精度和重復(fù)精度得到了顯著提高。
線纜管理
使用高質(zhì)量的無塵線纜，優(yōu)化管線彎曲半徑，防止動作過程中線纜的拉伸影響到氣浮臺的性能，更適合在潔凈車間內(nèi)使用。
定制化
根據(jù)應(yīng)用可安裝轉(zhuǎn)臺或晶圓裝卸用的夾具。氣浮導(dǎo)軌可定制陶瓷材質(zhì)，重復(fù)定位精度±15nm。可選用激光尺或激光干涉儀閉環(huán)反饋，提升精度性能。可提供抱閘功能，適合高抖動要求的應(yīng)用。
規(guī)格指標(biāo)
型號 | 單位 | QFHDS-300-300 | QFHDS-500-500 | QFHDS-800-800 | ||||
軸系 | — | X | Y | X | Y | X | Y | |
行程 | mm | 300 | 300 | 500 | 500 | 800 | 800 | |
補(bǔ)償后定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.1 | ±0.25 | ±0.25 | |||
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±0.2 | ±0.5 | ±0.5 | |||||
雙向重復(fù)定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.05 | ±0.075 | ±0.1 | |||
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±0.1 | ±0.15 | ±0.15 | |||||
直線度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.05 | ±0.1 | ±0.2 | |||
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±0.5 | ±1 | ±1 | |||||
平面度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.2 | ±0.25 | ±0.3 | |||
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±0.5 | ±1 | ±1 | |||||
Pitch Roll Yaw (2) | Plus (1) | arc sec | ±0.5 | ±1 | ±1 | |||
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±1 | ±1.5 | ±1.5 | |||||
正交性 | Plus (1) | arc sec | 2 | |||||
標(biāo)準(zhǔn)值 | 5 | |||||||
電子分辨率 (3) | nm | 0.3 或 5（選配） | ||||||
速度 (空載) (4) | m/s | 1 | ||||||
加速度 (空載) (4) | m/s2 | 5,（10, 20, 30 定制） | ||||||
負(fù)載 | kg | 50 | ||||||
注：以上為單軸精度指標(biāo)，在潔凈間內(nèi)測試，溫度20℃±0.5℃，濕度40%~60%RH，振動等級VC-F，測試點在負(fù)載板上25mm處，測試速度10mm/s，Renishaw激光干涉儀測量及自帶分析方法，多軸系統(tǒng)的精度測試與負(fù)載尺寸及測試點高度有關(guān)，環(huán)境的變化會導(dǎo)致精度變化，如要求非標(biāo)準(zhǔn)測試，請咨詢我們。
1. Plus值為高精度指標(biāo)，是標(biāo)準(zhǔn)值的升級版。
2. 取決于平臺安裝表面的平面度。
3. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細(xì)分倍數(shù)。
4. 空載條件下指標(biāo)，速度和加速度取決于負(fù)載大小。
