結(jié)構(gòu)特點
QFR系列氣浮轉(zhuǎn)臺由無齒槽直驅(qū)力矩電機(jī)、閉式氣浮軸承和圓光柵反饋組成，提高定位性能。閉式氣浮結(jié)構(gòu)設(shè)計使工作臺面降低，減小系統(tǒng)誤差影響。具有高軸向剛度和大承載能力。解決氣浮抱死的問題，力矩電機(jī)固有的零齒槽效應(yīng)和扭矩波紋折射，適合在各種速度下平滑轉(zhuǎn)動。
精度性能
瑞邦精控的QFR系列氣浮轉(zhuǎn)臺同步軸向跳動誤差和徑向跳動誤差10nm，擺角誤差3μrad，負(fù)載100kg，電動控制和手動轉(zhuǎn)動跳動誤差一致，使用壽命10年以上。
閉環(huán)反饋
使用圓光柵閉環(huán)反饋，分辨率優(yōu)于0.01arc sec，同時采用高性能控制系統(tǒng)，優(yōu)化氣浮結(jié)構(gòu)，氣浮轉(zhuǎn)臺能精準(zhǔn)回零。
定制化
可安裝滑環(huán)，用于空間模擬裝置，MEMS和慣性導(dǎo)航等應(yīng)用。
規(guī)格指標(biāo)
型號 | 單位 | QFR-100 | QFR-200 | QFR-300 | ||
行程 | ° | 360 | ||||
臺面直徑 | mm | 134 | 184 | 284 | ||
通孔直徑 | mm | 16 | 22 | 40 | ||
補(bǔ)償后定位精度 | Plus (1) | arc sec | ±0.5 | |||
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±2 | |||||
雙向重復(fù)定位精度 | Plus (1) | arc sec | ≤0.5 | |||
標(biāo)準(zhǔn)值 | ≤1 | |||||
軸向跳動誤差 (2) | Plus (1) | nm | 10 | |||
標(biāo)準(zhǔn)值 | 200 | |||||
徑向跳動誤差 (2) | Plus (1) | nm | 10 | |||
標(biāo)準(zhǔn)值 | 200 | |||||
擺角誤差 | Plus (1) | μrad | 3 | |||
標(biāo)準(zhǔn)值 | 6 | |||||
電子分辨率 (3) | arc sec | ＜0.01 | ||||
速度 (空載) (4) | rpm | 300,（≥1000 定制） | ||||
負(fù)載 | 軸向 | kg | 20 | 45 | 100 | |
徑向 | 12 | 27 | 60 | |||
供氣壓力 (5) | MPa | 0.5±0.05 | ||||
空氣消耗量 | SL/min | 26 | 35 | 60 | ||
自重 | kg | 5 | 10 | 26 | ||
材料 | / | 航空7075鋁合金（表面氧化處理） | ||||
注：
以上為單軸精度指標(biāo)，在潔凈間內(nèi)測試，溫度20℃±0.5℃，濕度40%~60%RH，振動等級VC-F，測試點在轉(zhuǎn)動臺面上25mm處
1. Plus值為高精度指標(biāo)，是標(biāo)準(zhǔn)值的升級版。
2. 軸向和徑向跳動為同步跳動誤差，測微儀和標(biāo)準(zhǔn)球測量，計算為值-最小值-標(biāo)準(zhǔn)球誤差-同心度。
3. 電子分辨率取決編碼器線數(shù)及控制器的細(xì)分倍數(shù)。
4. 轉(zhuǎn)速取決于負(fù)載大小，定制轉(zhuǎn)速7800 rpm。
5. 為保護(hù)氣浮軸承建議加裝壓力保護(hù)開關(guān)。壓縮空氣必須是清潔的（過濾至0.25μm或更佳，ISO8573-1），無水（壓力露點-20℃，ISO8573-1級別3）及無油（ISO8573-1級別1）。
