真空級無鐵芯直線電機(jī)是我公司U系列無鐵芯直線電機(jī)的姊妹版，其線圈組和磁軛專門設(shè)計用于低達(dá)10^-8 mBar的高真空環(huán)境。
該系列電機(jī)保留了我公司常規(guī)無鐵芯直線電機(jī)的特點(diǎn)：重量輕、精度超高。同時該系列電機(jī)運(yùn)動極其平穩(wěn)，并且其放氣量在同系列產(chǎn)品中極其低。
真空ULV – G2系列是真空級直線電機(jī)系列中的中型號系列。它們通常用于對峰值推力有要求或低熱量輸出的應(yīng)用。
例如在光刻和檢測方案中，在更長的行程中，ULV – G2線圈可以連接組合以節(jié)省磁鐵材料，但仍能達(dá)到高性能。
推力
峰值推力: 720 N
連續(xù)推力: 165 N
