產(chǎn)品參數(shù):
型號 | TS-PL1900 |
設備外形尺寸 | W1920×D1450×H2050(mm){不含三色燈高度} |
腔體尺寸 | W1110xD1200xH1450(mm) |
腔體容量 | 1900 升 |
載物托盤/數(shù)量 | 鋁托盤/4 層 |
等離子電源 | 40KHz/40KW |
氣體流量控制 | 0-2000mL/m MFC 氣體質(zhì)量流量計精確控制流量 |
反應氣體 | 2 路(氧氣、氬氣、氮氣等非腐蝕性氣體) |
工作真空度 | 20-60Pa |
整機功率 | 約60KW |
電源 | AC380V,50/60Hz,三相五線 |
產(chǎn)品視頻: