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項目 | 內(nèi)容 | 規(guī)格概述 |
1 | 波長范圍 | 420~1000nm |
2 | Resolution | 1 nm |
3 | 膜厚測定范圍 | 250 A- 20 um |
4 | 膜厚測定精度 | T=±5A, N=±0.02 based on SiO2 1100A standard wafer |
5 | 膜厚測定重復(fù)性 | SR Thickness repeatability: ≤ 1? (1?) (at 1100?, SiO2/Si) |
6 | 測定光源 | 鹵素?zé)襞?/span>(含 Constant Current Power Supply) |
7 | 透明基板里面反射補正機能 | 包括透明基板背后反射的修正(軟件) |
8 | 測定SPOT徑(Spot Size ) | 50 um Diameter ( 20 X Objective ) , can be smaller with less signal / noise ratio |
9 | Tact time | 2S(測試1S+分析1S) |
Radiation 全光譜反射儀
參考價 | 面議 |
- 公司名稱質(zhì)朋儀器貿(mào)易(上海)有限公司
- 品 牌
- 型 號SR-RD-STD系列
- 所 在 地
- 廠商性質(zhì)代理商
- 更新時間 2024-01-31
- 訪問次數(shù)272
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