高精度CNC影像測(cè)量?jī)x
ULTRA QV
●實(shí)現(xiàn)測(cè)量精度E1XY(0.25+2L/1000)µm的高精度CNC影像測(cè)量?jī)x。
●標(biāo)配有使用測(cè)量?jī)x主機(jī)溫度傳感器和工件溫度傳感器的自動(dòng)溫度補(bǔ)償功能。
●X, Y, Z各軸采用本公司開(kāi)發(fā)的高分辨力(0.01µm)、高精度的低熱膨脹玻璃標(biāo)尺。
●Y軸采用高剛性固定橋式移動(dòng)工作臺(tái)設(shè)計(jì), 底座采用具熱穩(wěn)定性強(qiáng)的巖石平板。