產(chǎn)品名稱:無紡布拋光墊/碳化硅sic拋光墊/suba800替代
產(chǎn)品特點(diǎn):吉致拋光墊滿足低、中及高硬度材料拋光需求,針對碳化硅sic拋光的4道工藝制程搭配不同型號拋光墊(粗磨墊/精磨墊/粗拋墊/精拋墊)具有高移除率、高平坦性、低缺陷等優(yōu)點(diǎn)。
產(chǎn)品工藝及用途:特殊纖維結(jié)構(gòu)的拋光材料,適用于碳化硅sic/再生晶圓/各類三五族或二六族等晶圓,如藍(lán)寶石、氮化鋁等拋光,也適用于各類襯底、窗口片或玻璃片的高平坦效果。
可定制化:標(biāo)準(zhǔn)槽深為拋光墊厚度1/2,可以按客戶不同開槽要求定制