超精密靜壓研磨機(jī)的特點(diǎn):
通過采用技術(shù)要素,實(shí)現(xiàn)了工件形狀精度、尺寸精度、表面精度等0.1μm的世界。
由于磨削臺(tái)固定,磨削砂輪·調(diào)整車滑動(dòng)可動(dòng)型,臺(tái)階更換,供給裝置·排出裝置的簡(jiǎn)化成為可能。
■根據(jù)磨削砂輪修正裝置的遍歷型旋轉(zhuǎn)禮服方式的采用使砂輪表面高精度化。(※可選)
●靜止軸輪頭
●調(diào)整磨刀石修正裝置帶有自動(dòng)修正功能。(※可選)
●磨削砂輪滑動(dòng)通過V-V引導(dǎo)功能和全封閉控制實(shí)現(xiàn)高精度定位。(※可選)
●小徑用超精密磨削適合的機(jī)械構(gòu)造。
超精密靜壓研磨機(jī)的參數(shù):
研削能力 | 工作物直徑 | ~Φ10mm |
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最大インフィード幅 | 148mm | |
研削砥石 | 寸法 | Φ355×150×Φ177.8mm |
周速 | 2,700m/min(2,420r/min) | |
モータ容量 | 3.7kW | |
軸受 | 靜圧軸ホイールヘッド | |
調(diào)整砥石 | 寸法 | Φ205×150×Φ101.6mm |
回転數(shù) | ~300r/min(60Hz) | |
モータ容量 | 0.5kW | |
軸受 | 靜圧軸ホイールヘッド | |
砥石修正:研削砥石側(cè) | 方式 | ※トラバースロータリ |
トラバース駆動(dòng) | ※ACサーボモータ | |
切込駆動(dòng) | ※ACサーボモータ | |
倣い方式 | テンプレート | |
砥石修正:調(diào)整砥石側(cè) | 方式 | ポイントトラバース |
トラバース駆動(dòng) | ※ACサーボモータ | |
切込駆動(dòng) | ※ACサーボモータ | |
倣い方式 | テンプレート | |
送り機(jī)構(gòu) | 研削砥石スライド | すべり案內(nèi)(V-V) |
駆動(dòng)方式 | ACサーボモータ | |
最小設(shè)定単位 | 0.1μm | |
調(diào)整砥石スライド | すべり案內(nèi) | |
駆動(dòng)方式 | マイクロハンドル | |
最小設(shè)定単位 | 0.02mm/div | |
本體質(zhì)量 | 3,200kg |