光譜橢偏儀Alpha-SE非破壞性薄膜厚度量測儀是J.A. Woollam橢偏儀產(chǎn)品中，設(shè)計(jì)用來快速量測一般薄膜材料的簡易橢偏儀，具有高性價(jià)比，量測橢偏數(shù)據(jù)快速的特點(diǎn)，可進(jìn)行非破壞性薄膜厚度量測，無論是，氧化物薄膜量測，氮化物薄膜量測、光阻厚度量測，只要是透光薄膜皆可量測，量測波長380-900nm，並有65度/70度/75度/90度的量測角度可調(diào)整，單點(diǎn)量測約3秒即可取得橢偏數(shù)據(jù)，軟體內(nèi)見許多種數(shù)學(xué)函數(shù)來描述穿透膜吸、收膜層的特性：如Lorents、Gaussian、Harmonic等。
橢偏儀Alpha-SE非破壞性薄膜/光阻厚度量測儀特點(diǎn)
- 非破壞性、非接觸性：光學(xué)式量測，無須接觸與破壞樣品。
- 高度精確性與重複性：因其並非量測光之實(shí)際強(qiáng)度，而是量測光之強(qiáng)度比例，橢圓偏振較不受光源之不穩(wěn)定性或是大氣環(huán)境吸收光之影響。
- 可測得極薄的膜厚：測量的Δ參數(shù)具有高度的靈敏度，所以可測得超薄的膜厚(<10nm)，可用於光阻厚度量測、氧化物量測。>
- 簡便：先進(jìn)的分析軟件配合按鈕式操作便可輕鬆完成測試
- 優(yōu)異：相比其他技術(shù)，先進(jìn)的光譜橢偏儀為您提供更可靠的薄膜厚度及折射率數(shù)據(jù)
- 靈活：可測量各種材料：電介質(zhì)、半導(dǎo)體、有機(jī)物、光阻厚度、氧化物...
- ：合理價(jià)格的價(jià)格擁有出色的光譜橢偏技術(shù)
- 快速：數(shù)秒鐘內(nèi)完成數(shù)百個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn)的測試—結(jié)果立等可取
- VCSEL量測
- 氮/氧化物薄膜量測
- ITO量測
- OLED有機(jī)材料薄膜量測
橢圓偏光儀Alpha-SE非破壞性薄膜/光阻厚度量測
