光刻晶圓溫度測量系統(tǒng) 真空腔體溫度監(jiān)控
光刻是什么?
光刻是一種*的微電子制造工藝,旨在制造微小而復(fù)雜的芯片結(jié)構(gòu),它在現(xiàn)代科技領(lǐng)域中具有重要地位。它通過使用光線將設(shè)計好的圖案投射到半導(dǎo)體材料表面,從而在微米或甚至納米尺度上創(chuàng)造出各種電子元件和微結(jié)構(gòu)。
光刻技術(shù)是一種將芯片設(shè)計通過光刻膠(光刻膠是一種光敏材料)投影到硅片上的制造過程。在光刻過程中,光刻膠的曝光和固化受到溫度的影響。
如果晶圓溫度不穩(wěn)定,可能會導(dǎo)致以下問題:
尺寸偏差: 溫度變化會影響光刻膠的固化速率,從而導(dǎo)致芯片元件尺寸偏離設(shè)計要求。
對準(zhǔn)誤差: 光刻膠的膨脹和收縮與溫度變化有關(guān),不穩(wěn)定的溫度可能會導(dǎo)致不良的芯片對準(zhǔn),影響電路性能。
產(chǎn)量下降: 溫度不穩(wěn)定可能會導(dǎo)致光刻過程的變異,進(jìn)而影響芯片的良品率和產(chǎn)量。
智測電子TC-WAFER光刻晶圓溫度測量系統(tǒng)應(yīng)用于光刻晶圓,測量精度可達(dá)mk級別,可以多區(qū)測量晶圓特定位置的溫度真實(shí)值,也可以精準(zhǔn)描繪晶圓整體的溫度分布情況,還可以監(jiān)控半導(dǎo)體設(shè)備控溫過程中晶圓發(fā)生的溫度變化,了解升溫、降溫以及恒溫過程中設(shè)備的有效性。
智測電子還提供整個實(shí)驗(yàn)室過程的有線溫度計量,保證溫度傳感器的長期測量精度。
合肥智測電子致力于高精度溫測、溫控設(shè)備的生產(chǎn)和研發(fā)定制,為半導(dǎo)體設(shè)備提供可靠的國產(chǎn)解決方案。
光刻晶圓溫度測量系統(tǒng) 真空腔體溫度監(jiān)控