TC-Wafer高低溫探針臺(tái)高精度晶圓測(cè)溫系統(tǒng)
高低溫探針臺(tái)的重要性
高低溫探針臺(tái)是一種能夠在不同溫度條件下對(duì)晶圓進(jìn)行測(cè)試的設(shè)備。在晶圓制造的各個(gè)階段,溫度的變化都會(huì)影響到器件的性能和穩(wěn)定性。
高低溫探針臺(tái)通過(guò)使用高精度的溫度傳感器,能夠在不同的溫度范圍內(nèi)實(shí)時(shí)測(cè)量晶圓的溫度。
市面上典型的晶圓高低溫測(cè)試通常涵蓋溫度范圍從 -45°C 至 150°C,而在晶圓可靠性測(cè)試中,溫度可能高達(dá) 300°C。然而,隨著探針臺(tái)進(jìn)行溫度變化,由于熱膨脹和冷收縮效應(yīng),探針與卡盤之間可能會(huì)出現(xiàn)熱漂移,從而影響探針與 PAD 點(diǎn)之間的對(duì)準(zhǔn),增加晶圓探針測(cè)試的難度。更有一些晶圓測(cè)試要求在**溫度環(huán)境下,甚至達(dá)到 500°C 以上。隨著溫度的升高,探針臺(tái)也將面臨更大的溫度范圍測(cè)試壓力。
智測(cè)電子TC-Wafer高低溫探針臺(tái)高精度晶圓測(cè)溫系統(tǒng)應(yīng)用于高低溫晶圓探針臺(tái),測(cè)量精度可達(dá)mk級(jí)別,可以多區(qū)測(cè)量晶圓特定位置的溫度真實(shí)值,也可以精準(zhǔn)描繪晶圓整體的溫度分布情況,還可以監(jiān)控半導(dǎo)體設(shè)備控溫過(guò)程中晶圓發(fā)生的溫度變化,了解升溫、降溫以及恒溫過(guò)程中設(shè)備的有效性。致力于泛半導(dǎo)體**傳感器制造商的研發(fā)和制造,產(chǎn)品用戶包含國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備商和芯片制造廠等。
智測(cè)電子還提供整個(gè)實(shí)驗(yàn)室過(guò)程的有線溫度計(jì)量,保證溫度傳感器的長(zhǎng)期測(cè)量精度。
合肥智測(cè)電子致力于高精度溫測(cè)、溫控設(shè)備的生產(chǎn)和研發(fā)定制,為半導(dǎo)體設(shè)備提供可靠的國(guó)產(chǎn)解決方案。
TC-Wafer高低溫探針臺(tái)高精度晶圓測(cè)溫系統(tǒng)