中國(guó)臺(tái)灣自行研發(fā)製造的高精度氣靜壓研磨主軸，採(cǎi)用非接觸式氣靜承科技，相較於傳統(tǒng)的滾珠軸承主軸，具有高運(yùn)動(dòng)精度、低振動(dòng)、高剛性、低噪音、低阻尼及高潔淨(jìng)度等優(yōu)勢(shì)。面對(duì)半導(dǎo)體的高精度加工需求，本氣靜壓研磨主軸在長(zhǎng)時(shí)間精度維持、重現(xiàn)性保持、低熱變位有著優(yōu)秀表現(xiàn)。本公司亦提供客製化服務(wù)以滿足客戶的各式應(yīng)用。
應(yīng)用：
適用於矽晶圓、藍(lán)寶石基板、GaAs/GaN晶圓、SiC晶圓研磨減薄加工。
優(yōu)點(diǎn)：
- 空氣靜承(Aerostatic Bearing) 科技
- 提供8吋跟12吋兩種尺寸選擇
- 可提供客製化砂輪盤介面
- 內(nèi)藏式永磁同步馬達(dá)科技
- 可選配中心出水功能
- 高精密迴轉(zhuǎn)精度(Low Error-Motion)
- 高剛性/高承載力設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)
- 迴轉(zhuǎn)速度變動(dòng)量小
