中國(guó)臺(tái)灣自行研發(fā)製造的高精度氣靜壓研磨主軸，採(cǎi)用非接觸式氣靜承科技，相較於傳統(tǒng)的滾珠軸承主軸，具有高運(yùn)動(dòng)精度、低振動(dòng)、高剛性、低噪音、低阻尼及高潔淨(jìng)度等優(yōu)勢(shì)。面對(duì)半導(dǎo)體的高精度加工需求，本氣靜壓研磨主軸在長(zhǎng)時(shí)間精度維持、重現(xiàn)性保持、低熱變位有著優(yōu)秀表現(xiàn)。本公司亦提供客製化服務(wù)以滿足客戶的各式應(yīng)用。
全新一代的XT34000氣靜壓12吋晶圓研磨主軸，提供了更高的軸向承載力，較前一代提升了90%的軸向承載力，對(duì)於近期硬脆材料研磨需求，提供了更高的生產(chǎn)效率，非常適合SiC晶圓研磨減薄加工應(yīng)用。XT34000氣靜壓研磨主軸採(cǎi)用瑞士進(jìn)口電機(jī)，提供了大功率的輸出、超低的震動(dòng)，以及可靠的加工壽命。
應(yīng)用：
適用於矽晶圓、晶圓再生、矽晶圓研磨減薄、藍(lán)寶石基板、GaAs/GaN晶圓、SiC晶圓研磨減薄加工。
優(yōu)點(diǎn)：
- 空氣靜承(Aerostatic Bearing) 科技
- 適用12吋(300mm)/10吋(250mm)/8吋(200mm)砂輪盤
- 可提供客製化砂輪盤介面
- 內(nèi)藏式感應(yīng)馬達(dá)科技，超低震動(dòng)。
- 可選配中心出水功能
- 高精密迴轉(zhuǎn)精度(Low Error-Motion)
- 高剛性/高承載力設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)
- 迴轉(zhuǎn)速度變動(dòng)量小
